• 제목/요약/키워드: $(Sr,Ca)TiO_3$

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SCT 박막의 미세구조 및 구조적인 특성 (Microstructure and Structural Properties of SCT Thin Film)

  • 김진사;오용철
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제55권12호
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    • pp.576-580
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    • 2006
  • The $(Sr_{0.85}Ca_{0.15})TiO_3(SCT)$ thin films were deposited on Pt-coated electrode $(Pt/TiN/SiO_2/Si)$ using RF sputtering method according to the deposition condition. The crystallinity of SCT thin films were increased with increase of deposition temperature in the temperature range of $100{\sim}500[^{\circ}C]$. The optimum conditions of RF power and $Ar/O_2$ ratio were 140[W] and 80/20, respectively. Deposition rate of SCT thin films was about $18.75[{\AA}/min]$ at the optimum condition. The composition of SCT thin films deposited on Si substrate is close to stoichiometry (1.102 in A/B ratio). The maximum dielectric constant of SCT thin film as obtained by annealing at $600^{\circ}C$.

SCT 박막의 상부전극 특성 (Top Electrodes Properties of SCT Thin Films)

  • 조춘남;김진사;전장배;유영각;김충혁
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.240-243
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    • 1999
  • (Sr$\sub$0.85/Ca$\sub$0.15/)TiO$_3$thin films were deposited on Pt-coated TiO$_2$/SiO$_2$/Si wafer by the rf sputtering method. Experiments were conducted to investigate the electrical properties of SCT thin films with various top electrode. C-F and C-V measurements show that SCT thin films annnealed at 600$^{\circ}C$ have a larger capacitance than SCT thin films deposited at 400$^{\circ}C$ , and there is nearly no difference between top electrodes. I-V measurement show that Pt top electrode have a good leakage current density of < 10nA/$\textrm{cm}^2$,. making them suitable for DRAM application.

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경기육괴 북부 광덕산 일대에 분포하는 쥐라기 고알루미나 화강암질암의 성인에 대한 지화학적 연구 (Geochemical Studies on the Petrogenesis of Jurassic Peraluminaous Granitic Rocks in the area of Gwangdeoksan in the Northern Gyeonggi Massif)

  • 한충희;전혜수;박영록
    • 광물과 암석
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    • 제33권4호
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    • pp.325-337
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    • 2020
  • 경기육괴 북부 화천군과 철원군 경계부의 광덕산 일대에 분포하는 쥐라기 화강암은 복운모화강암, 함석류석복운모화강암, 운모화강암, 반상흑운모화강암으로 이루어져 있다. 이 암석들은 서브알칼리 계열 중 칼크-알칼리 계열에 해당하며, Al 포화지수를 이용한 A/CKN vs. A/KN 다이어그램에서 고알루미나질 영역에 도시된다. 암석기재학적·지화학적 자료는 연구지역에서 가장 후기에 관입한 것으로 알려진 반상흑운모화강암은 복운모화강암, 함석류석복운모화강암 및 운모화강암과는 별개의 모그마로부터 기원하였음을 지시한다. 이들 화강암질암을 형성한 마그마의 근원암의 성질을 알아보기 위해 Rb/Sr vs. Rb/Ba 다이아그램과 Al2O3/TiO2 vs. CaO/Na2O 다이어그램에 도시한 결과, 반상흑운모화강암은 복운모화강암, 함석류석복운모화강암, 운모화강암 보다 이질 성분을 덜 함유하는 근원암으로부터 유래하였음을 알 수 있다. 스파이더 다이어그램에서 친석원소인 Cs, Rb, Ba의 값이 부화되어 나타나고, 고장력 원소인 Nb, P, Ti의 값이 결핍된 값의 지화학적 특성을 보이는 것으로 보아, 광덕산 일대에 분포하는 쥐라기 고알루미나질 화강암질암은 섭입대 환경에서 형성되었으며, 전암 저어콘 포화지온계로부터 692-795℃ 온도 조건에서 용융되었음을 알 수 있다.

Pt/ST/Pt 소자 구조의 박막증착 및 특성 (Deposition and Properties of Pt/ST/Pt Thin Film Structure)

  • 김진사;조춘남;오용철;신철기;송민종;소병문;최운식;김충혁
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.472-473
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    • 2007
  • The $(Sr_{1-x}Ca_x)TiO_3$(ST) thin films are deposited on Pt-coated electrode(Pt/TiN/$SiO_2$/Si) using RF sputtering method with substitutional contents of Ca. The maximum grain of thin films is obtained by substitution of Ca at 15[mol%]. Also, the composition of ST thin films were closed to stoichiometry(1.081~1.117 in A/B ratio). The dielectric constant changes almost linearly in temperature ranges of -80~+90[$^{\circ}C$]. The current-voltage characteristics of ST15 thin films showed the increasing leakage current as the measuring temperature increases.

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Pt/SCT/Pt 박막 구조의 전기적인 특성 (Electrical Properties of Pt/SCT/Pt Thin Film Structure)

  • 김진사;신철기
    • 전기학회논문지
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    • 제56권10호
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    • pp.1786-1790
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    • 2007
  • The $(SrCa)TiO_3(SCT)$ thin films are deposited on Pt-coated electrode ($Pt/TiN/SiO_2/Si$) using RF sputtering method at various deposition temperature. The dielectric constant of SCT thin films were increased with the increase of deposition temperature, and changed almost linearly in temperature ranges of $-80{\sim}+90[^{\circ}C]$. Also, SCT thin films was observed the phenomena of dielectric relaxation with the increase of frequency, and the relaxation frequency was observed above 200[kHz]. V-I characteristics of SCT thin films show the increasing leakage current with the increases of deposition temperature. The conduction mechanism of the SCT thin films observed in the temperature range of $25{\sim}100[^{\circ}C]$ can be divided into three characteristic regions with different mechanism by the increasing current. The region 1 below 0.8[MV/cm] shows the ohmic conduction. The region 2 can be explained by the Child's law, and the region 3 is dominated by the tunneling effect.

$Nb_2O_5$ 첨가제가 PTCR의 전기적 특성에 미치는 영향 (Effect of additives on the PTCR Electrical Properties with $Nb_2O_5$ addition)

  • 최경철;이능헌;박성현;김응혁;추순남;이덕출
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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    • pp.1885-1887
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    • 1999
  • 본 연구에서는 $BaTiO_3$를 기본조성으로하는 반도성 세라믹스인 PTC 써미스터에 $Nb_2O_5$을 미량 첨가하여 미세구조 및 PTCR의 전기적 특성에 대해서 연구하였다. 또한 복소 임피던스 측정을 통하여 $Nb_2O_5$ 첨가에 따른 grain, grain boundary 저항변화에 대해서도 고찰하였다. $(Ba_{0.9}Sr_{0.05}Ca_{0.05})TiO_3-0.01SiO_2-0.001MnCO_3$를 기본조성으로 하여 $Nb_2O_5$ 첨가량을 $0.15{\sim}0.2mol%$까지 변화시켰으며 소결조건은 소결온도 $1350^{\circ}C$, 2h 유지하였으며 냉각속도는 $100^{\circ}C/h$로 하였다 첨가된 Nb의 양이 증가할수록 grain의 크기는 점차로 작아졌으며 상온저항과 peak 저항이 함께 증가하였다. 0.15mol% 첨가된 시편의 경우 상온저항은 $19[\Omega]$이었으며 peak 저항은 $5{\times}10^6[{\Omega}]$정도가 되었다.

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ATO 처리후, 플라즈마 전해 산화 처리된 Ti-6Al-4V 합금의 표면 형태 (Surface Morphology of PEO-treated Ti-6Al-4V Alloy after Anodic Titanium Oxide Treatment)

  • Kim, Seung-Pyo;Choe, Han-Cheol
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.75-75
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    • 2018
  • Commercially pure titanium (CP-Ti) and Ti-6Al-4V alloys have been widely used in implant materials such as dental and orthopedic implants due to their corrosion resistance, biocompatibility, and good mechanical properties. However, surface modification of titanium and titanium alloys is necessary to improve osseointegration between implant surface and bone. Especially, when titanium oxide nanotubes are formed on the surface of titanium alloy, cell adhesion is greatly improved. In addition, plasma electrolytic oxide (PEO) coatings have a good safety for osseointegration and can easily and quickly form coatings of uniform thickness with various pore sizes. Recently, the effects of bone element such as magnesium, zinc, strontium, silicon, and manganese for bone regeneration are researching in dental implant field. The purpose of this study was researched on the surface morphology of PEO-treated Ti-6Al-4V alloy after anodic titanium oxide treatmentusing various instruments. Ti-6Al-4V ELI disks were used as specimens for nanotube formation and PEO-treatment. The solution for the nanotube formation experiment was 1 M $H_3PO_4$ + 0.8 wt. % NaF electrolyte was used. The applied potential was 30V for 1 hours. The PEO treatment was performed after removing the nanotubes by ultrasonics for 10 minutes. The PEO treatment after removal of the nanotubes was carried out in the $Ca(CH_3)_2{\cdot}H_2O+(CH_3COO)_2Mg{\cdot}4H_2O+Mn(CH_3COO)_2{\cdot}4H_2O+Zn(CH_3CO_2)_2Zn{\cdot}2H_2O+Sr(CH_2COO)_2{\cdot}0.5H_2O+C_3H_7CaO_6P$ and $Na_2SiO_3{\cdot}9H_2O$ electrolytes. And the PEO-treatment time and potential were 3 minutes at 280V. The morphology changes of the coatings on Ti-6Al-4V alloy surface were observed using FE-SEM, EDS, XRD, AFM, and scratch tester. The morphology of PEO-treated surface in 5 ion coating solution after nanotube removal showed formation or nano-sized mesh and micro-sized pores.

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티탄산바륨 소재의 XRF 분석용 CRM 개발에 관한 연구 (A study on development of CRM by means of XRF analysis for fine ceramic ($BaTiO_3$))

  • 김영만;정찬이;임창호;송택용;이동수
    • 분석과학
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    • 제9권4호
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    • pp.382-391
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    • 1996
  • 세라믹스 분야, 전자요업 분야 등에서 폭넓게 사용되고 있는 티탄산바륨 소재에 대하여 신속하고 정확하게 분석할 수 있는 X-선 형광분석용 표준물질 12종을 제작하였다. 특히 매질효과 제거, 보관성, 균질성 등을 고려하면서 융제 ($Li_2B_4O_7+LiBO_2$)로 시료를 16배 희석하여 제작 하였다. 티타늄을 비롯한 몇 원소는 매트릭스의 영향을 받는 것으로 보여 실험 계수법을 사용하고 Lucas Tooth와 Price의 식을 이용해 매트릭스의 영향을 보정해 주었다. 세 곳의 분석기관에서 X-선 형광분광기로 12개의 표준물질에 포함된 15 원소에 대하여 검정곡선을 작성해 본 결과 BaO, PbO, SrO, $Fe_2O_3$, $La_2O_3$, $SnO_2$, ZnO, $ZrO_2$, CaO들은 correlation factor가 0.995를 넘는 아주 좋은 곡선을 얻었다. $SiO_2$$Al_2O_3$는 X-선 형광세기도 약하고 correlation factor가 낮은 검정 곡선을 보였다.

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PMN 치환량에 따른 저온소결 PMN-PZT 세라믹스의 유전 및 압전특성 (Piezoelectric and Dielectric Characteristics of Low Temperature Sintering PMN-PZT ceramics with the amount of PMN substitution)

  • 김국진;류주현;이창배;이상호;홍재일
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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    • pp.178-180
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    • 2005
  • In this study, in order to develop multilayer low temperature sintering piezoelectric transformer, $Pb_{0.97}Sr_{0.03}[(Mn_{1/3}Nb_{2/3})x(Zr_{0.48}Ti_{0.52})_{1-x}O_3]+$ 0.25wt% $CeO_2$+0.3 wt% $Nb_2O_5$ system ceramics were fabricated using $Li_2CO_3-CaCO_3$ and CuO as sintering aids and their piezoelectric and dielectric characteristics were investigated with the amount of PMN substitution. With increasing PMN substitution, electromechanical coupling factor kp and dielectric constant were increased.

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역사시대에 분화한 백두산 화산재의 화학 성분 (Geochemical Composition of Volcanic Ash from Historical Eruptions of Mt. Baekdu, Korea)

  • 윤성효;고정선;장철우
    • 암석학회지
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    • 제27권1호
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    • pp.37-47
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    • 2018
  • 백두산에서 역사시대에 분화한 화산재의 시료에 대하여 다양한 방법으로 주성분과 미량성분을 분석하였다. 화산재의 주성분 원소 함량은 $SiO_2$ 58.8~71.1 wt.%, $Al_2O_3$ 9.6~16.8 wt.%, ${Fe_2O_3}^T$ 4.5~6.9 wt.%, MgO 0.1~1.7 wt.%, CaO 0.3~1.6 wt.%, $Na_2O$ 5.2~6.3 wt.%, $K_2O$ 4.3~5.9 wt.% 그리고 $TiO_2$ 1.2 wt.%이하로 분석되었다. Ba, Cu, Cr. Co, Ni, Sr, V, Zn와 Zr을 포함하는 32개 미량원소가 분석되었는데, 이들 화산재는 일부 미량원소와 경희토류 원소의 부화정도에 따라 두 그룹(그룹 A, 그룹 B)으로 구분되며, 그룹 A에는 1천년 전의 밀레니엄 분화물, 1668년과 1903년 분화물이, 그룹 B에는 1702년 분화물이 해당된다. 중금속원소인 Cu, Co, Zn, Mn 등은 소량 함유되어 나타난다. 백두산 화산재는, 섭입대 기원의 일본 사쿠라지마 화산의 화산재와 비교하여, 미량성분원소 중 Y, Nb, Pb, U, Sc, V, Ni 그리고 Cu 함량은 낮게 나타나며, Zr, Ba, Hf, Cr, Co, Zn 그리고 희토류(Eu제외) 등은 높은 함량을 나타낸다.