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타액으로 오염된 지르코니아 수복물의 접착강도에 세척 방법들이 미치는 영향 (The effect of cleaning methods on bond strength of zirconia after saliva contamination)

  • 심영보;최안나;손성애;정경화;권용훈;박정길
    • 대한치과재료학회지
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    • 제44권1호
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    • pp.61-68
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    • 2017
  • 본 연구는 MDP 적용 후 타액으로 오염된 지르코니아 수복물을 다양한 방법으로 세척한 후 전단결합강도를 비교하여 세척방법이 결합강도에 미치는 영향을 알아보고자 한다. 80개의 지르코니아 시편을 8개의 군으로 나누었다. 모든 시편에 MDP를 적용한 후 한 개의 군(음성대조군)을 제외하고 나머지 군에 타액을 적용하여 오염시켰다. 그 중 한 개의 군(양성대조군)은 타액 오염 후 세척하지 않고 즉시 레진 시멘트를 이용하여 접착하였다. 나머지 6개의 군의 시편을 물을 이용하여 세척하고 MDP를 적용하거나(물+MDP) 적용하지 않은 군(물), Ivoclean으로 세척하고 MDP를 적용하거나(IVOCLEAN+MDP) 적용하지 않은 군(IVOCLEAN), 차아염소산나트륨을 이용하여 세척하고 MDP를 적용하거나(NaOCl+MDP) 적용하지 않은 군(NaOCl)으로 분류하였다. 모드 시편은 $37^{\circ}C$ 증류수에 24시간 저장한 후 전단강도를 측정하였고, ANOVA, Tukey's post hoc test를 이용하여 전단강도를 분석하였고, MDP의 재적용 여부가 미치는 영향에 대해서는 student t-test를 이용하여 통계분석하여 다음의 결과를 얻었다. 양성대조군이 가장 낮은 전단강도 값을 나타냈으며, 물군과 NaOCl군이 낮은 전단강도 값을 나타내며 양성대조군과 유의한 차이가 없었다. IVOCLEAN군은 물군과 NaOCl군보다 유의하게 높은 전단강도 값을 나타내며 음성대조군과 유의한 차이가 없었다. MDP를 재적용한 것은 물과 차아염소산나트륨을 이용한 경우 MDP를 재적용하지 않은 경우와 유의한 차이를 나타내면서 음성대조군과 유의한 차이가 없었다. Ivoclean을 사용한 경우 MDP 재적용 여부와는 관계없이 음성대조군과 유의한 차이가 없었다. 결론적으로, 세척방법에 따라 전단강도는 영향을 받으며, MDP 재적용 여부와는 관계없이 Ivoclean이 효과적이며, 물과 차아염소산나트륨 사용시에는 MDP를 다시 적용해주는 것이 결합강도를 향상시킬 수 있는 방법으로 사료된다.

자율주행자동차 사고시 형사책임에 따른 '자율주행자동차의 운행과 책임에 관한 법률안' 시도 (New attempt on the Autonomous Vehicles Act based on criminal responsibility)

  • 이승준
    • 법제연구
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    • 제53호
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    • pp.593-631
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    • 2017
  • 자율주행자동차의 상용화를 둘러싸고 각국은 이제 기술적 경쟁은 물론 입법 경쟁에도 뛰어 들었다. 그런데 이처럼 자국의 자율주행차 산업의 기술적 우위를 확보하려는 법적 제도화의 와중에 독일의 자율 및 커넥티드주행에 관한 윤리위원회는 최근 20여개의 지침을 제시하였다. 이 지침은 복잡한 윤리적인 딜레마와 법적 책임의 분배, 자율주행기술에 대한 지침의 투명성 요구 등 반드시 해결하고 넘어가야 할 과제들을 언급하고 있어, 향후 자율주행자동차 관련 입법의 이정표 역할을 할 것으로 판단된다. 이에 필자는 형사책임을 기초로 독일 윤리위원회의 지침에서 제시된주요내용을 포섭하는 새로운 법률안을 성안해 보았다. 그리고 그 구조는크게 총칙, 자율주행자동차의 종류와 안전기준에 관한 장, 등록 및 점검, 정비, 검사 등에 관한 장, 운행 면허에 관한 장, 제조사와 운전자의 의무에 관한 장, 보험과 사고시 책임에 관한 장, 도로와 시설, 교통체계에 관한 장, 보칙, 벌칙에 관한 장 등으로 구분할 수 있다. 우리나라에서 자율주행자동차의 상용화는 먼 미래의 일로, 자율주행자동차에 대비할 법제의 마련도 요원한 것처럼 치부할 수 있지만, 우리의 현실을 보면 오히려 선도적 입법이 필요할 수도 있다. 이에 본 논문은 자율주행자동차 사고시 확정될 형사책임을 기본으로 필요한 사항들을 규율하는 개별 법률안을 마련하였다. 여기서 자율주행자동차의 교통안전을 위해 명확한 법률의 해석과 적용이 이뤄질 수 있도록 자율주행자동차와 주행모드 등의 정의를 내렸으며, 자율주행자동차의 안전기준을 제시하였다. 아울러 운전자와 제조사의 의무를 규정하고 그에 따른 보험가입의무와손해배상 책임을 규정하였다. 나아가 이를 바탕으로 운전자와 제조사 등의 형사책임의 배분을 명시하고, 제조사에 대하여 매출액을 기준으로 한벌금형의 규정과 면책의 가능성을 검토하였다. 또한 동법의 실효성 확보와 규제의 사각지대를 막기 위해 해킹행위 등의 처벌을 위한 벌칙규정을 살펴보았다. 이러한 논의를 바탕으로 '자율주행차의 운행과 책임에 관한 법률안'을 제시하였는데, 이는 향후 자율주행자동차의 운행과 관련이 있는 여러 학문분야와 관련 산업계의 중론을 모으고 이를 바탕으로 새로운 논의가 진행될 수 있는 기초를 제공함에 목표를 두었다. 시기적으로 요원한 감이 있을 수도 있다. 그러나 건전한 자율주행자동차산업 생태계 구축을 위해서는 자율주행자동차의 주행을 규율할 법률안을 미리 예고하여 자동차산업계가 대비할 수 있는 시간이 필요하며, 국회에서의 입법 절차에 앞서자율주행자동차의 안전에 대한 사회적 공감대 형성을 위한 공론화 과정이 필요하기 때문이다.

UHPLC-MS/MS를 이용한 과일류 중 클로로젠산 및 알부틴 동시분석법 개발 (Method Development for Determination of Chlorogenic Acid and Arbutin Contents in Fruits by UHPLC-MS/MS)

  • 최영주;전종섭;김운호;정유정;류지은;최종철;채경석;이진희;도영숙;박용배;윤미혜
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제34권5호
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    • pp.413-420
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    • 2019
  • 본 연구에서는 chlorogenic acid 이성질체 9종과 arbutin을 분석하기 위하여, 전처리 과정과 UHPLC-MS/MS 동시분석 조건을 확립하였다. UHPLC-MS/MS에서 C18 column을 사용하여 15분 동안 분석할 수 있는 용매 조성을 만들고, 10가지 물질에 대한 정량, 정성 이온을 선택하여 negative 모드에서 분석하는 동시분석법을 확립하였고 과일류를 대상으로 추출, 진탕추출, 초음파 추출, 원심분리, 농축 등의 과정을 거치는 전처리법을 개발하였다. 기기분석과 전처리법에 대한 유효성은 특이성, 직선성, 정확성, 정밀성 그리고 검출한계 및 정량한계 등을 통하여 확인하였다. 회수율은 48.1-120.3%, intraday precision(RSD)는 0.4-7.9%, interday precision (RSD)는 0.0-7.2%로 확인되었다. 따라서, 본 연구에서 확립한 동시분석방법은 과일류 중 chlorogenic acid와 arbutin을 효과적으로 분석하는데 유용할 것으로 사료된다.

인공위성 합성개구레이더 영상 자료의 해양 활용 - 해상풍 산출을 중심으로 - (Oceanic Application of Satellite Synthetic Aperture Radar - Focused on Sea Surface Wind Retrieval -)

  • 장재철;박경애
    • 한국지구과학회지
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    • 제40권5호
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    • pp.447-463
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    • 2019
  • 해상풍은 해양 현상을 이해하고, 지구 온난화에 의한 지구 환경의 변화를 분석하기 위한 필수 요소이다. 전세계 연구 기관은 해상풍을 정확하고 지속적으로 관측하기 위해 산란계(scatterometer)를 개발하여 운영해오고 있으며, 정확도는 풍향이 ${\pm}20^{\circ}$, 풍속이 ${\pm}2m\;s^{-1}$ 안팎이다. 하지만, 산란계의 해상도는 12.5-25.0 km로, 해안선이 복잡하고 섬이 많은 한반도 근해에서는 자료의 결측이 빈번하게 발생하여 활용도가 감소한다. 그에 반해, Synthetic Aperture Radar (SAR, 합성개구레이더)는 마이크로파를 활용하는 전천후 센서로, 1 km 이하의 고해상도 해상풍이 산출이 가능하여 산란계의 단점 보완이 가능하다. 본 연구에서는 일반적으로 활용되는 SAR 자료 기반 해상풍 산출 알고리즘인 Geophysical Model Function (GMF, 지구 물리 모델 함수)를 밴드별로 분류하여 조사하였다. 상대 풍향, 입사각, 풍속에 따른 후방산란계수를 L-band Model (LMOD, L 밴드 모델), C-band Model (CMOD, C 밴드 모델), X-band Model (XMOD, X 밴드 모델)에 적용하여 모의하였고, 각 GMF의 특성을 분석하였다. 이러한 GMF를 SAR 탑재 인공위성 자료에 적용하여 산출한 해상풍의 정확도 검증 연구에 대해 조사하였다. SAR 자료 기반 해상풍의 정확도는 영상 관측 모드, 적용한 GMF의 종류, 정확도 비교 기준 자료, SAR 자료 전처리 방법, 상대 풍향 정보 산출 방법 등에 따라 변하는 것으로 나타났다. 본 연구를 통해 국내 연구자들의 SAR 자료 기반 해상풍 산출 방법에 대한 접근성이 향상되고, 고해상도 해상풍 자료를 활용한 한반도 근해 분석에 이바지할 것으로 기대된다.

Research on the influence of web celebrity live broadcast on consumer's purchase intention - Adjusting effect of web celebrity live broadcast contextualization

  • Zou, Ji-Kai;Guo, Han-Wen;Liu, Zi-Yang
    • 한국컴퓨터정보학회논문지
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    • 제25권6호
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    • pp.239-250
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    • 2020
  • 이 논문의 목적은 전자 상거래 플랫폼에서 웹 유명인 생방송의 "컨텍스트 화"효과가 소비자의 제품 가치, 위험 및 구매 의도에 대한 인식에 미치는 영향을 탐구하는 것입니다. 본 논문에 실은 Taobao 쇼핑 소비자를 연구 대상으로 사용, 설문 조사 방법, 설문 조사가 채택되었으며, 설문 및 분산 네트워크를 통한 형태, 소비자 구매에 대한 실제 상황 영향의 웹 유명인 효과에 대한 웹 유명인 효과의 추가 검증을 위해 라이브 의도, 설문지는 데이터 처리 후 통계 소프트웨어 SPSS 23.0 및 AMOS 22.0을 사용하여 리 커트 스케일, 7 및 재활용 설문지 분석을 설계합니다. 설문지의 신뢰성과 타당성을 결정한 후, 탐색 요소 분석을 사용하여 가설을 검증하고 소비자의 구매 의도에 대한 웹 유명 인사 생방송의 "문맥 화"효과의 실제 조정 정도를 계산했습니다. 본 논문의 연구 결과는 다음과 같이 요약된다 : (1) 소비자의 제품에 대한인지 된 가치는 구매 의도에 중대한 영향을 미칠 수있는 반면,인지 된 위험은 구매 의도에 상당히 부정적인 영향을 미친다. (2) 제품에 대한 소비자의 신뢰와 구매 의도는 웹 유명 인사 생방송의 "컨텍스트 화"에 의해 규제됩니다. 특히, "컨텍스트 화"효과가 우수한 웹 유명인 라이브 방송의 경우 소비자 제품의 인지 된 가치는 제품 신뢰에 긍정적 인 영향을 미칩니다. 이는 "컨텍스트 화"효과가 좋지 않은 웹 유명인 라이브 방송의 가치보다 높습니다. 제품에 대한 소비자의인지 된 위험을 해결하는 관점에서, "컨텍스트 화"효과가 우수한 웹 유명인 라이브 방송은 "컨텍스트 화"효과가 낮은 웹 유명인 라이브 브로드 캐스트보다 훨씬 우수합니다. 이 논문은 경험적 분석을 바탕으로 웹 연예인 생방송이 전자 상거래 산업의 지속 가능한 성장을위한 새로운 돌파구가 될 것이며 전자 상거래 마케팅 모드와 웹 연예인 생방송 산업의 변화에 대한 제안을 제시 할 것이라고 결론을 내렸다.

남한의 중생대 화강암의 Fe-Ti 산화광물에 대한 암석기재와 광물화학: 계열분류에 대한 재고찰 (Petrography and mineral chemistry of Fe-Ti oxides for the Mesozoic granitoids in South Korea : a reconsideration on the classification of magnetite- and ilmenite-series)

  • 조등룡;권성택
    • 암석학회지
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    • 제3권1호
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    • pp.1-19
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    • 1994
  • 화강암의 계열을 보다 확실하게 분류하기 위해 41 개의 대보와 불국사 화강암에 존재하는 Fe-Ti 산화광물을 조사하였다. Fe-Ti 산화광물의 조직과 모드비의 특징은 경상분지에 비해 옥천대의 불국사 화강암이 환원환경에서 결정화작용이 이루어졌고, 대보 화강암은 경상분지의 불국사 화강암에 비해 전반적으로 낮은 산소분압에서 형성되었음을 시사한다. 대보 화강암의 자철석은 거의 순수한 $Fe_3O_4$인 반면, 불국사 화강암의 것은 상당량의 Mn과 Ti 함걍을 갖는다. 이는 대보에 비해 불국사 화강암이 천부에 관입하여 급냉한 결과로 해석되고, 기존의 지질학적 증거와 조등룡과 권성택(1994)에의한 각섬석 지압계의 결과와 일치한다. 티탄철석의 성분은 대보와 불국사 화강암에서 차이를 보이지 않으며, 자철석과 공존하는 티탄철석이 공존하지 않는 것에 비해 $Fe_2O_3$ 함량이 많아 보다 강한 산화환경에서 형성되었음을 나타낸다. 온도-산소분압 그림에서 불국사 화강암의 시료는 Ni-NiO와 QFM 완충곡선 부근에 점시되나, 화강암질 마그마의 고상선 이상의 온도를 지시하는 것은 두 시료 뿐이다. 경기육괴, 옥천대와 영남육괴에 분포하는 대보와 불국사 화강암은 자철석계열과 티탄철석계열이 공존하나, 경상분지의 불국사 화강암은 모두 자철석계이다. 옥천대의 많은 화강암은 티탄철석계열로서 주변의 석탄 등 환원물질을 포함하는 암석과 관련이 있음을 시사하며, 유색광물에 따라 각섬석 흑운모 화강암$\longrightarrow$흑운모 화강암$\longrightarrow$복운모 화강암 순으로 티탄철석계열의 비율이 우세해진다. Ishihara et al. (1981)은 대자율을 측정하여 대부분의 대보 화강암이 티탄철석계열 (70% 이상) 이라고 하였으나, 이 연구의 결과는 자철석계열이 티탄철석계열에 비해 약간 우세 (56 : 44)하다.이와 같은 차이는 시료의 편중과 1981년 이후의 연대 측정으로 일부 화강암의 관입 시기가 새롭게 밝혀진 것에 주로 기인하지만, 그들에 의해 티탄철석계열로 분류된 약한 대자율의 화강암 중 일부는 자철석을 갖는다. 위와 같은 남한 중생대 화강암의 계열 분포는 화강암의 계열을 좌우하는 여러 요인 중에서 기반암에 의한 마그마의 오염 그리고/혹은 기원물질의 특성이 티탄철석 계열의 기원에 중요하였음을 시사한다.

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소형어선에 의한 가다랑어 (Euthynnus pelamis)의 어황과 수온 (Relationships between Fishing Condition and Sea Surface Temperature for Skipjack(Euthynnus pelamis) Caught by Small Fishing Boats)

  • 정동근;노홍길
    • 수산해양교육연구
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    • 제10권1호
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    • pp.15-30
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    • 1998
  • 일본(日本) 관동근해(關東近海)에서 끌낚시어업에 의해 어획되는 가다랑어의 어획량변동 및 어장의 형성과 수온과의 관계를 파악할 목적으로, 가다랑어를 주어획대상으로 하는 소형어선 38척의 7년간 (1982~1988년)의 일별 어획자료와 치바(千葉)현 수산시험장(水産試驗場) 발행의 어해황속보 자료를 이용하여, 가다랑어의 년별 및 어기별 어획량 변동과 어장형성과 수온과의 관계에 대해서 해석한 결과는 다음과 같다. 1. 가다랑어 년평균어획량은 151,375.1kg 였다. 어획량의 년변동은, 1984년까지는 증가하다가 1985년에는 50%이하로 감소하고, 1986년에 약간 회복된 이후 증감을 되풀이 하다가 1988년에는 1984년의 수준까지 회복하였다. 조업척수가 많은 해에는 어획량도 많아지는 경향은 있지만, 1985년에는 조업척수는 평관보다 많은데 어획량은 평균보다 낮다. 이것은 CPUE에 대해서도 마찬가지이다. 이것은 해에 따른 가다랑어의 내유량과 어장까지의 거리의 차이에 의한 것이라고 사료된다. 2. 가다랑어 어획량의 어기별변동은, 초어기(1, 2, 3월)의 일평균어획량은 894.6kg인 반면, 성어기(4,5월)에는 3,666.0kg으로 4배이상의 어획이 있다가, 종어기(6, 7월)에 접어들면서 767.9kg로 줄어들면서 어장이 점차 소멸한다. 초어기는 가다랑어의 북상기이기 때문에 연안해역에서의 어장의 형성은 충분하지 않고, 어장의 위치에 따라서 조업 불가능한 날이 많은 반면, 성어기에는 어장분포의 상태가 양호하기 때문에, 총조업일수, 일별조업척수, 어획량 및 CPUE는 다른 어기보다 높고, 안정되어 있었다. 3. 어장에서의 연평균수온은 $19.0{\sim}20.2^{\circ}C$의 범위이고, 1983년을 제외한 각 해의 평균수온은 $19.0{\sim}19.9^{\circ}C$이다. 소또보(外房)해역에서의 가다랑어의 적수온은 $19^{\circ}C$ 내외인데, 이 적수온대가 출현하는 시기와 장소를 추찰하는 일은 효율적인 조업을 하기 위한 중요한 요소이다. 소또보(外房)해역에서의 수온변동은 쿠로시오의 유형에 영향을 받고, 그위에 쿠로시오는 근해가다랑어 등 외양성어류의 어장형성에 매우 중요한 요소이다. 각 해의 조업기간중, 쿠로시오 유형이 B형(型) 또는 C형(型)으로 추이한 경우(1980년, 1984년, 1988년, 1991년)에는 비교적 어획량이 많다. 반면, 어기초의 쿠로시오 유형이 N형(型)으로 추이한 경우 (1980년, 1992년)에는, 조업첫날이 늦어져서 어기가 단축되기 때문에 흉어(凶漁)가 되는 경향이 있다. 또, 조업기간중 쿠로시오 유형이 N형(型) 주체로 추이한 경우에는(1981년, 1989년), 가다랑어의 어장이 형성되기 어렵게되어 흉어(凶漁)로될 경향이 있다. 4. 어장에서의 수온범위는, 3월이 $17.0{\sim}19.0^{\circ}C$, 4월이 $17.5{\sim}20.5^{\circ}C$ 그리고 5월이 $17.5{\sim}23.0^{\circ}C$로 점차 수온범위가 커지다가, 6월에는 $21.0{\sim}23.5^{\circ}C$$21.0^{\circ}C$ 이상의 수온대에서만 어장이 형성된다. 이것은 3월~6월에는 해면수온의 상승기인 동시에 가다랑어가 북상하는 시기에 해당되기 때문에 점차 어장까지의 거리도 가까워지고, 어장에서의 수온도 고온의 모드로 변해간다.

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다목적실용위성 5호 후방산란계수 방정식 검증 (Verification of Kompsat-5 Sigma Naught Equation)

  • 양도철;정호령
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제34권6_3호
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    • pp.1457-1468
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    • 2018
  • 후방산란계수(${\sigma}^0$) 방정식은 지상표적 탐지, 토지피복 분류, 해상풍 산출, 토양 수분함량 예측 등 Synthetic Aperture Radar(SAR) 영상의 활용을 위해 영상으로부터 지구물리적인 특성을 예측하는 과정에서 요구되는 필수 요소이다. 본 논문에서는 최종 업데이트된 SAR 프로세서와 절대방사보정의 특성을 반영하는 Kompsat-5 (K5)의 Radar Cross Section(RCS) 및 ${\sigma}^0$ 방정식을 제시하고 이를 검증하여 K5 SAR 영상의 활용도를 높이고자 한다. 우선, K5 RCS 방정식을 산출하고 이의 정밀도를 몽골의 검보정 사이트에 설치되어 있는 삼면판 반사기를 이용하여 검증하였다. K5 Spotlight 및 Stripmap 모드의 다양한 빔 영상에 대해서 RCS 방정식을 이용하여 측정한 RCS 값과 K5 SAR 프로세서를 이용하여 관측한 표준 RCS 값을 비교하였을 때 평균 $0.2dBm^2$ 이하의 차이를 보였다. 레이더 방정식과 K5 RCS 방정식을 이용하여 유도한 K5 ${\sigma}^0$ 방정식에 대한 검증은 계절에 따른 후방 산란 특성의 변화가 적은 아마존 열대 우림의 TerraSAR-X(TSX) 및 Sentinel-1A(S-1A) SAR 영상에서 얻은 ${\sigma}^0$과 비교하여 수행하였다. TSX/S-1A 대비 K5 ${\sigma}^0$ 값의 차이는 최대 0.6 dB 이하였다. K5의 절대방사보정에 대한 요구 값이 2.0 dB($1{\sigma}$)을 감안하면 K5 RCS 방정식의 평균 $0.2dBm^2$ 이하의 오차와 K5 ${\sigma}^0$ 방정식의 최대 0.6 dB 이하의 오차는 제시한 방정식들의 정밀도 및 유효성이 높음을 입증하여 준다. 향후, 본 논문에서 제시한 K5 RCS 방정식과 K5 ${\sigma}^0$ 방정식을 이용하여 해상풍 산출 등 정량적인 분석이 가능한 활용을 통한 검증이 추가적으로 이루어져야 할 것으로 생각된다.

수중글라이더를 활용한 동해 아중규모 중층성 소용돌이 발견 (First Observational Finding of Submesoscale Intrathermocline Eddy in the East Sea using Underwater Glider)

  • 박종진
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제24권2호
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    • pp.332-350
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    • 2019
  • 2017년 8월 7일부터 25일까지 수중글라이더를 활용하여 $37.9^{\circ}N$ 위도 라인를 따라 동경 $129.0^{\circ}E{\sim}131.3^{\circ}E$ 사이를 왕복하는 단면 관측을 수행하였다. 해당 경로는 국립수산과학원 정기선박 관측라인 중 106 라인을 따른 것으로 이 경로를 따라 약 18일간 운용하였으며 위치 유지 모드로 동작했던 시간을 제외하고 총 440 km를 비행하였고, 그동안 고해상도 수온 및 염분의 공간 단면을 관측하였다. 본 관측 해역은 약 0.8 m/s의 강한 유속을 갖는 동한난류가 북상하고 있는 상황이었음에도 불구하고, 해당 수중글라이더는 지정된 경로에서부터 RMS 거리 400 m 이내를 벗어나지 않고 정확하게 106 라인을 따라 비행하였다. 본 관측에서 얻어진 고해상도 물성 단면 구조를 국립수산과학원 정선 관측 자료와 비교함으로써 해양환경에 지대한 영향을 끼치는 전선역이나 소용돌이와 같은 현상을 관측하기 위해서 고해상도 관측이 얼마나 중요한지 확인할 수 있었다. 이러한 수중글라이더 관측을 통해 이제까지 발견하지 못했던 새로운 소용돌이를 발견할 수 있었다. 이 소용돌이는 수평폭이 10~13 km, 수직폭은 200 m 가량되는 렌즈 형태를 가지고 있으며 시계방향으로 회전하는 아중규모 중층성 소용돌이(submesoscale intrathermocline eddy)다. 수온약층 내 혹은 직하부에 존재하면서 아중규모의 렌즈형태의 구조를 갖는 이러한 중층성 소용돌이는 동해에서 처음 발견되었기 때문에 Korea intrathermocline eddy(Keddy)로 명명하였다. 이 Keddy는 다음과 같은 전형적인 중층성 소용돌이(intrathermocline eddy)의 특징을 가지고 있다. Keddy는 수온약층 하부인 수심 약 170 m, 즉 중층에서 유속최대값을 갖는 특징이 있고, 따라서 해표면에는 해당 지오포텐셜 구조가 드러나지 않는 2차 순압성 구조를 가지고 있다. 또한 중앙부의 성층화가 주변보다 약하고, 수평크기가 1차 순압성 로스비 변형반경과 유사하며, 로스비 수가 0.7로 1에 근접한다.

미세 배선 적용을 위한 Ta/Cu 적층 구조에 따른 계면접착에너지 평가 및 분석 (Effect of Ta/Cu Film Stack Structures on the Interfacial Adhesion Energy for Advanced Interconnects)

  • 손기락;김성태;김철;김가희;주영창;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제28권1호
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    • pp.39-46
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    • 2021
  • Cu 배선(interconnect) 적용을 위한 다층박막의 적층 구조에 따른 최적 계면접착에너지(interfacial adhesion energy, Gc) 평가방법을 도출하기 위해, Ta, Cu 및 tetraethyl orthosilicate(TEOS-SiO2) 박막 계면의 정량적 계면접착에너지를 double cantilever beam(DCB) 및 4-점 굽힘(4-point bending, 4-PB) 시험법을 통해 비교 평가하였다. 평가결과, Ta확산방지층이 적용된 시편(Cu/Ta, Cu/Ta/TEOS-SiO2)에서는 두 가지 평가방법 모두 반도체 전/후 공정에서 박리가 발생하지 않는 산업체 통용 기준인 5 J/㎡ 보다 높게 측정되었다. Ta/Cu 시편의 경우 DCB 시험에서만 5 J/㎡ 보다 낮게 측정되었다. 또한, DCB시험 보다 4-PB시험으로 측정된 Gc가 더 높았다. 이는 계면파괴역학 이론에 따라 이종재료의 계면균열 선단에서 위상각의 증가로 인한 계면 거칠기 및 소성변형에 의한 에너지 손실이 증가 하는것에 기인한다. 4-PB시험결과, Ta/Cu 및 Cu/Ta계면은 5 J/㎡ 이상의 높은 계면접착에너지를 보이므로, 계면접착에너지 관점에서는 Ta는 Cu배선의 확산방지층(diffusion barrier layer) 및 피복층(capping layer)으로 적용 가능할 것으로 생각된다. 또한, 배선 집적공정 및 소자의 사용환경에서 열팽창 계수 차이에 의한 열응력 및 화학적-기계적 연마 (chemical mechanical polishing)에 의한 박리는 전단응력이 포함된 혼합모드의 영향이 크므로 4-PB 시험으로 측정된 Gc와 연관성이 더 클 것으로 판단된다.