Acknowledgement
이 연구는 서울과학기술대학교 교내 연구비의 지원으로 수행되었습니다.
References
- K. Eriguchi and K. Ono: J. Phys. D: Appl. Phys., 41 (2008) 024002.
- T. Ivanovm, M. A. Porghaderi, D. Lin, J.-K. Yu, S. Tan, Y. Kimura, D. Hellin, J. Geypen, H. Bender, J. Vertommen, G. Kamarthy, N. Collaert, J. Marks, V. Vahedi, R. Arghavani and A. Thean: Jpn. J. Appl. Phys., 53 (2014) 04EC20.
- K. Nojiri: Dry Etching Technology for Semiconductors, Springer International Publishing, (2015).
- K. J. Kanarik, S. Tan and R. A. Gottscho: J. Phys. Chem. Lett., 9 (2018) 4814.
- C. Fang, Y. Cao, D. Wu and A. Li: Prog. Nat. Sci., 28 (2018) 667.
- A. Fischer, A. Routzahn, S. M. George and T. Lill: J. Vac. Sci. Technol. A, 39 (2021) 030801.
- Y. Lee, J. W. DuMont and S. M. George: Chem. Mater., 27 (2015) 3648.
- Y. Lee, C. Huffman and S. M. George: Chem. Mater., 28 (2016) 7657.
- Y. Lee, J. W. DuMont and S. M. George: Chem. Mater., 28 (2016) 2994.
- J. W. DuMont, A. E. Marquardt, A. M. Cano and S. M. George: ACS Appl. Mater. Interfaces, 9 (2017) 10296.
- A. I. Abdulagatov and S. M. George: J. Vac. Sci. Technol. A, 38 (2020) 022607.
- N. R. Johnson and S. M. George: ACS Appl. Mater. Interfaces, 9 (2017) 34435.
- Y. Lee and S. M. George: Chem. Mater., 29 (2017) 8202.
- S. M. George: Acc. Chem. Res., 53 (2020) 1151.
- A. I. Abdulagatov and S. M. George: Chem. Mater., 30 (2018) 8465.
- E. Mohimi, X. I. Chu, B. B. Trinh and J. R. Abelson: ECS J. Solid State Sci. Technol., 7 (2018) P491.
- Y. Lee and S. M. George: J. Phys. Chem. C, 123 (2019) 18455.
- Y. Lee, J. W. DuMont and S. M. George: ECS J. Solid State Sci. Technol., 4 (2015) N5013.
- D. R. Zywotko and S. M. George: Chem. Mater., 29 (2017) 1183.
- W. Xie and G. N. Parsons: J. Vac. Sci. Technol. A, 38 (2020) 022605.
- N. R. Johnson, J. K. Hite, M. A. Mastro, C. R. Eddy Jr and S. M. George: Appl. Phys. Lett., 114 (2019) 243103.
- N. R. Johnson, H. Sun and K. Sharma: J. Vac. Sci. Technol. A, 34 (2016) 050603.