Information Display (인포메이션 디스플레이)

The Korean Infomation Display Society (한국정보디스플레이학회)
권호 표지

원자층 증착법을 활용한 고성능 산화물 반도체 박막 트랜지스터 응용 연구 동향

  • 김민석 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 박진성 (한양대학교 신소재공학과)
  • Published : 2022.10.30
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords

References

  1. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano and H. Hosono, NATURE 432, 488 (2004).
  2. S. W. Cho, C. H. Ahn, M. G. Yun, S. H. Kim, H. K. Cho, Thin Solid Films 562, 597 (2014). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.04.003
  3. S. J. Lim, J. M. Kim, D. Kim, C. Lee, J. S. Park, H. Kim, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H151 (2010).
  4. J.Sheng, D. w. Choi, S.H. Lee, J. Park, J. S. Park, J. Mater. Chem. C 4, 7571 (2016).
  5. L. Mai, D. Zanders, E. Subas, E. Ciftyurek, C. Hoppe, D. Rogalla, W. Gilbert, T. d. los Arcos, K. Schierbaum, G. Grundmeier, C. Bock, A. Devi" ACS Appl. Mater. Interfaces 11, 3169, (2019).
  6. J, Sheng, E. J. Park, B. Shong, and J. S. Park, ACS Appl. Mater. Interfaces. 9, 23934 (2017).
  7. J, Sheng, H. J. Lee,. S. Oh, and J. S. Park, ACS Appl. Mater. Interfaces. 8, 33821 (2016).
  8. J, Sheng, H. Hong, H. M. Lee, K. Kim, M. Sasase, J. Kim, H. Hosono, and J. S. Park, ACS Appl. Mater. Interfaces. 11, 40300 (2019).
  9. S.G. Jeong, H. J. Jeong , and J.S. Park, IEEE Trans. Electron Devices. 68, 1670 (2021).
  10. J. Sheng, T. Hong, D. Kang, Y. Yi, J. H. Lim, and J. S. Park ACS Appl. Mater. Interfaces 11, 12683 (2019).
  11. S.H. Noh, H. E. Kim, Y.H. Kwon, N. J. Seong, K.J. Choi, and S. M. Yoon, J. Vac. Sci. Technol. B 40, 040602 (2022).
  12. H. R. Kim, G. H. Kim, N. J. Seong, K. J. Choi, S. K. Kim, and S. M. Yoon, Nanotechnology 31,435702, (2020).
  13. W. Maeng, S. H. Lee, J. D. Kwon, J. Park and J. S. Park, Ceramics International 42 5517 (2016).
  14. S. H. Kim, I. H. Baek, D. H. Kim, J. J. Pyeon, T. M. Chung, S. H. Baek, J. S. Kim, J. H. Han and S. K. Kim J. Mater. Chem. C 5, 3139 (2017).
  15. H. M. Kim, S. H. Choi, H. J. Jeong, J. H. Lee, J. Kim, and J. S. Park ACS Appl. Mater. Interfaces 13, 30818 (2021).