FPD 대형화 및 초고해상도 구현을 위한 구리 배선 기술

  • 김창은 (LG Display 기반기술연구소)
  • Published : 2021.10.30

Abstract

Keywords

References

  1. C. W. Park, W. H. Cho, K. T. Kim, H. C. Choi, and C. H. Oh, IMID 03 Digest, 661
  2. J. H. Song, H. L. Ning, W. G. Lee, S. Y. Kim, and S. S Kim, IMID/IDMC/ASIA DISPLAY '08 DIGEST, 9
  3. H. Asanuma, T. Suzuki, and T. Kusunokia, AIP Advances 2, 022147 (2012). https://doi.org/10.1063/1.4727939
  4. K. Barmaka, G. A. Lucadamo C. Cabral, Jr., C. Lavoie, and J. M. E. Harper, J. Appl. Phys. 87, 5, (2000).
  5. J. L. Kim, C. K. Lee, M. J. Kim, S. H. Lee, and J. K. Jeong, Thin Solid Films 731 138759 (2021). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138759
  6. X. Hu, Y. Zhai, Y. Wang, M. Tan, J. Li, J. Zhang, Q. Jiang, W. Huang, C. Zhang, Y. Yang IDW 20, 27, 280
  7. G. C. Jo, K. S Chae, US6780784B2
  8. H. J. Yang, D. S. Kim, D. S. Oh, W. J. Ho, US7687333B2
  9. Y. M. Ha, S. K. Kim, H. Choi, S. G. Lee, K. S. Park, and I. Kang, SID 2016 DIGEST, 940
  10. S. H. Lee, D. J. Oh, A. Y. Hwang, D. S. Han, S. Kim, J. K. Jeong, and J. W. Park, IEEE Elec. Dev. Lett. 36, 8 (2015).
  11. J. Peng, K. Lu, S. Hu, Z. Fang, H. Ning, J. Wei, Z. Zhu, Y. Zhou, L. Wang, R. Yao, and X. Lu, Appl. Sci. 7, 820 (2017). https://doi.org/10.3390/app7080820
  12. J. Y. Yang, G. S. Hong, K. Kim, J. H. Bang, W. S. Ryu, J. O. Kim, Y. K. Kang, M. S. Yang, I. B. Kang and I.J. Chung, IMID 2009 DIGEST, 1189