박막 트랜지스터용 반도체 소재 기술 동향

  • 김영훈 (성균관대학교 신소재공학부)
  • Published : 2020.12.31

Abstract

Keywords

References

  1. P. T. Craddock, 2000 years of zine and brass (British Museum, London) 27 (1998).
  2. S. F. Boesen and J. E. Jacobs, Proceedings of the IEEE, 56, 2094 (1968).
  3. S. Lee, J. Shin, and J. Jang, Adv. Funct. Mater. 27, 1604921 (2017). https://doi.org/10.1002/adfm.201604921
  4. Ye. Shin, S. T. Kim, K. Kim, M. Y. Kim, S. Oh and J. K. Jeong, Sci. Rep. 7, 10885 (2017). https://doi.org/10.1038/s41598-017-11461-0
  5. C. W. Shih, A. Chin, C. F. Lu and W. F. Su, Sci. Rep. 6,19023 (2016). https://doi.org/10.1038/srep19023
  6. Ch. Chen, B. R. Yang, G. Li, H. Zhou, B. Huang, Q. Wu, R. Zhan, Y. Y. Noh, T. Minari, S. Zhang, S. Deng, H. Sirringhaus and C. Liu. Adv. Sci. 6, 1801189 (2019). https://doi.org/10.1002/advs.201801189
  7. S. Li, M. Tian, Q. Gao, M. Wang, T. Li, Q. Hu, X. Li and Y. Wu. Narure Mater. 18, 1091 (2019).
  8. Y. J. Chung, U. K. Kim, E. S. Hwang and C. S. Hwang, Appl. Phys. Lett. 105, 013508 (2014). https://doi.org/10.1063/1.4889856
  9. M. Lee, J. W. Jo, Y. J. Kim, S. M. Kwon, J. S. Pil, S. Choi, A. Facchetti, Y. H. Kim and S. K. Park, Adv. Mater. 30, 1804120 (2018). https://doi.org/10.1002/adma.201804120
  10. H. Faber, S. Dasl, Y. H. Lin, N. Pliatsikas, K. Zhao, T. Kehagias, G. Dimitrakopulos, A. Amassian, P. A. Patsalas and T. D. Anthopoulos, Sci. Adv. 3, e1602640 (2017). https://doi.org/10.1126/sciadv.1602640
  11. S. M. Kwon, J. K. Won, J. W. Jo, J. Kim, H. J. Kim, H. I. Kwon, J. Kim, S. Ahn, Y. H. Kim, M. J. Lee, H. Lee, T. J. Marks, M. G. Kim, S. K. Park, Sci. Adv. 4, eaap 9104 (2018).
  12. J. Wu, H. Yuan, M. Meng, C. Chen, Y. Sun, Z. Chen, W. Dang, C. Tan, Y. Liu, J. Yin, Y. Zhou, S. Huang, H. Q. Xu, Y. Cui, H. Y. Hwang, Z. Liu, Y. Chen, B. Yan and H. Peng, Narure Nanotech. 12, 530 (2017). https://doi.org/10.1038/nnano.2017.43
  13. C. Zhang, J. Wu, Y. Sun, C. Tan, T. Li, T. Tu, Y. Zhang, Y. Liang, X. Zhou, P. Gao and H. Peng, J. Am. Chem. Soc. 142,2726 (2020). https://doi.org/10.1021/jacs.9b11668
  14. X. Zou, G. Fang, L. Yuan, M. Li, W. Guan and X. Zhao, lEEE Electron Device Lett. 31, 827 (2010). https://doi.org/10.1109/LED.2010.2050576
  15. E. Fortunato, V. Figueiredo, P. Barquinha, E. Elamurugu, R. Barros, G. Goncalves, S. H. K. Park, C. S. Hwang and R. Martins, Appl. Phys. Lett. 96,192102 (2010). https://doi.org/10.1063/1.3428434
  16. J. A. Caraveo-Frescas, P. K. Nayak, H. A. Al-Jawhari, D. B. Granato, U. Schwingenschlogl and H. N. Alshareef, ACS Nano 7, 5160 (2013). https://doi.org/10.1021/nn400852r
  17. Y. J. Han, Y. J. Choi, I. T. Cho, S. H. Jin, J. H. Lee and H. I. Kwon, IEEE Electron Device Lett. 35,1260 (2014). https://doi.org/10.1109/LED.2014.2363879
  18. S. H. Kim, I. H. Baek, D. H. Kim, J. J. Pyeon, T. M. Chung, S. H. Baek, J. S. Kim, J. H. Han and S. K. Kim, J. Mater. Chem. C 5, 3139 (2017). https://doi.org/10.1039/C6TC04750E
  19. K. Okamura, B. Nasr, R. Brand and H. Hahn, J. Mater. Chem. 22, 4607 (2012). https://doi.org/10.1039/c2jm16426d
  20. S. Y. Kim, C. H. Ahn, J. H. Lee, Y. H. Kwon, S. Hwang, J. Y. Lee and H. K. Cho, ACS Applied Mater. and Interfaces 5, 2417 (2013). https://doi.org/10.1021/am302251s
  21. A. Liu, H. Zhu, W. T. Park, S. J. Kang, Y. Xu, M. G. Kim and Y. Y. Noh, Adv. Mater. 30, 1802379 (2018). https://doi.org/10.1002/adma.201802379
  22. T. Matsushima, S. Terakawa, M. R. Leyden, T. Fujihara, C. Qin and C. Adachi, J. Appl. Phys. 125,235501 (2019). https://doi.org/10.1063/1.5097433
  23. N. Wijeyasinghe, A. Regoutz, F. Eisner, T. Du, L. Tsetseris, Y. -H. Lin, H. Faber, P. Pattanasattayavong, J. Li, F. Yan, M. A. McLachlan, D. J. Payne, M. Heeney and T. D. Anthopoulos, Adv. Funct. Mater. 27, 1701818 (2017). https://doi.org/10.1002/adfm.201701818
  24. A. R. M. Yusoff, H. P. Kim, X. Li, J. Kim, J. Jang and. M. K. Nazeeruddin, Adv. Mater. 29, 1602940 (2017). https://doi.org/10.1002/adma.201602940
  25. D. B. Mitzi, M. Copel and C. E. Murray, Adv. Mater. 18, 2448 (2006). https://doi.org/10.1002/adma.200600157
  26. C. Zhao, C. Tan, D.-H. Lien, X. Song, M. Amani, M. Hettick, H. Y. Y. Nyein, Z. Yuan, L. Li, M. C. Scott and A. Javey, Narure Nanotech. 15, 53 (2020). https://doi.org/10.1038/s41565-019-0585-9