Abstract
In this paper, the electrical characteristics of Gate grounded NMOS(GGNMOS), Lateral insulated gate bipolar transistor(LIGBT), Silicon Controlled Rectifier(SCR), and Proposed ESD protection device were compared and analyzed. First, the trigger voltage and holding voltage were verified by simulating the I-V characteristic curve for each device. After that, the robustness was confirmed by HBM 4k simulation for each device. As a result of HBM 4k simulation, the maximum temperature of the proposed ESD protection device is lower than that of GGNMOS and GGLIGBT and SCR, which means that the robustness is improved, which means that the ESD protection device is excellent in terms of reliability.
본 논문에서는 Gate grounded NMOS(GGNMOS)와 Gate grounded Lateral insulated gate bipolar transistor(GGLIGBT), Silicon Controlled Rectifier(SCR), 그리고 제안된 ESD 보호 소자에 대한 전기적 특성을 비교 및 분석하였다. 우선 각 소자에 대한 I-V 특성 곡선을 시뮬레이션 함으로써 트리거 전압과 홀딩 전압을 확인하였다. 그 후에 각 소자에 대한 HBM 4k 시뮬레이션을 통해서 감내 특성을 확인하였다. HBM 4k 시뮬레이션 결과, 제안된 ESD 보호소자의 최대 온도가 GGNMOS와 GGLIGBT와 SCR에 비해서 낮기 때문에 그만큼 감내 특성이 개선되었다고 할 수 있으며, 이는 신뢰성 측면에서 우수한 ESD 보호소자임을 의미한다.