초록
본 연구에서는 OLED 소자 및 패시베이션 박막을 하나의 시스템에서 동시에 제작하여 진행할 수 있는 in-situ passivation 클러스터 시스템을 개발하고 이러한 시스템을 이용하여 OLED 디스플레이 제작 및 특성을 연구함으로써 플렉시블 디스플레이에 적용할 수 있는 기술을 구현하였다. In-situ passivation을 이용한 OLED의 제작 및 특성 분석에 관하여 연구하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 첫째, In-situ 시스템으로 OLED 소자 제작 및 박막 패시베이션 가능한 시스템을 자체적으로 구축하였으며, 패시베이션 박막을 제작하여 그 특성을 평가한 결과 본 시스템의 응용 가능성을 제시할 수 있었다. 둘째, $SiO_2$, SiNx 무기 박막을 PECVD 방법으로 제작하여 OLED 패시베이션 박막으로 적용 가능성을 확인하였다. 본 연구결과, in-situ passivation 시스템의 적용 가능성을 확인할 수 있었고, 플렉시블 디스플레이에 적합한 패시베이션 방법으로서의 구현 가능성을 제시하였다.
This study focused on the development of in-situ passivation system and characterization of OLED display. The thin film passivation process with thin film layers was investigated using in-situ passivation technique in the cluster system. Thin films of $SiO_2$, SiNx passivation were manufactured using PECVD, which enables the deposition process at room temperature. The cluster system was created to develop in-situ passivation process, which OLED and thin film were fabricated in the cluster system without exposing to the atmospheric environment. It is expected that the in-situ passivation system of OLED with organic and inorganic layer provides the leading technique to develop flexible OLED.