Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 56 Issue 4
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- Pages.41-44
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- 2016
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- 1226-7287(pISSN)
기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 기술
- Published : 2016.04.01
Abstract
이 글에서는 나노박막의 역학적 거동 및 파괴 거동의 이해를 기초로, 기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 공정, 장비 및 이의 응용에 관해 설명한다.
Keywords
이 글에서는 나노박막의 역학적 거동 및 파괴 거동의 이해를 기초로, 기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 공정, 장비 및 이의 응용에 관해 설명한다.