클린룸 최신 기술의 심층분석 - 공업용 클린룸을 위한 프리쿨링 냉열원 시스템

  • 유경훈 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실) ;
  • 송원일 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실)
  • 발행 : 2015.12.30