References
- A. A. Ayon, R. A. Braff, C. C. Lin, H. H. Sawin, and M. A. Schmidt, J. Electrochem. Soc., 146, 139 (1999).
- S. H. Lee, S. J. Yun, J. W. Lim, ETRI Journal 35 (2013) 1156. https://doi.org/10.4218/etrij.13.0213.0216
- R. J. Shul, C. G. Willison, and L. Zhang, SPIE, 3511, 252 (1998).
- K. S. Lee, I. H. Kim, C. B. Yeon, J. W. Lim, S. J. Yun, G. E. Jabbour, ETRI Journal 35 (2013) 587. https://doi.org/10.4218/etrij.13.1912.0025
- C. S.-B. Lee, S. Han, and N. C. Macdonald, in Proceedings of Solid State Sensor and Actuator Workshop, p. 45, June 1998.
- J. G. Won, J. G. Koo, T. P. Rhee, H. S. Oh, J. H. Lee, ETRI Journal 35 (2013) 603. https://doi.org/10.4218/etrij.13.1912.0030
- P. A. Clerc, L. Dellman, F. Gretillat, M. A. Gretillat, P. F. Indermuhle, S. Jeanneret. Ph. Luginbuhl, C. Marxer, T. L. Pfeffer, G. A. Racine, S. Roth, U. Staufer, C. Stebler, P. Thiegaud, and N. F. de Rooij, J. Micromech. Microeng., 8, 272 (1998). https://doi.org/10.1088/0960-1317/8/4/003
- W. D. Lang, Mater. Sci. Eng. R., 17, 1 (1997).
- Y. S. Yang, I. K. You, H. Han, J. B. Koo, S. C. Lim, S. W. Jung, B. S. Na, H. M. Kim, M. S. Kim, S. H. Moon, ETRI Journal 35 (2013) 571. https://doi.org/10.4218/etrij.13.1912.0018
- B. D. Yang, J. M. Oh, H. J. Kang, S. H. Park, C. S. Hwang, M. K. Ryu, J. E. Pi, ETRI Journal 35 (2013) 610. https://doi.org/10.4218/etrij.13.1912.0004
- C. P. D'Emic, K. K. Chan, J. Blum, J. Vac. Sci. Technol., B 10 (1992) 1105-1110. https://doi.org/10.1116/1.586085
- J. W. Bartha, J. Greschner, M. Puech, P. Maquin, Microelectron. Eng. 27 (1995) 453-456. https://doi.org/10.1016/0167-9317(94)00144-J
- A. Burtsev, Y. X. Li, H. W. Zeijl, C. I. M. Beenakker, Microelectron. Eng. 40 (1998) 85-97. https://doi.org/10.1016/S0167-9317(98)00149-X
- M. Boufnichel, S. Aachboun, F. Grangeon, P. Lefaucheux, P. Ranson, J. Vac. Sci. Technol., B 20 (2002) 1508-1513. https://doi.org/10.1116/1.1495505
- S. Gomez, R. J. Belen, M. Kiehlbauch, E. S. Aydil, J. Vac. Sci. Technol., A 22 (2004) 606-615. https://doi.org/10.1116/1.1710493
- J. R. Holt, R. C. Hefty, M. R. Tate, S.T. Ceyer, J. Phys. Chem. 85 (2002) 3529-3532.
- L. R. Arana, N. de Mas, R. Schmidt, A. J. Franz, M. A. Schmidt, K. F. Jensen, J. Micromech. Microeng. 17 (2007) 384-392. https://doi.org/10.1088/0960-1317/17/2/026
- S. D. Park, J. H. Lim, C. K. Oh, H. C. Lee, and G. Y. Yeom, Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 094107-094109. https://doi.org/10.1063/1.2180879
- L. Sha, B. O. Cho, and J. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. A 20 (2002) 1525-1531. https://doi.org/10.1116/1.1491267
- L. Sha and J. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. A 21 (2003) 1915-1922.
- L. Sha, R. Puthenkovilakam, Y. S. Lin, and J. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 21 (2003) 2420-2427. https://doi.org/10.1116/1.1627333
- E. Sungauer,a_ E. Pargon, X. Mellhaoui, R. Ramos, G. Cunge, L. Vallier, O. Joubert, and T. Lill, J. Vac. Sci. Technol. B 25 (2007) 1640-1646. https://doi.org/10.1116/1.2781550
- G. H. Kim, K. T. Kim, D. P. Kim, and C. I. Kim, Thin Solid Films 475 (2005) 86-90. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.08.028
- A. M. Efremov, S. M. Koo, D. P. Kim, K. T. Kim, C. I. Kim, J. Vac. Sci. Technol., A 22 (2004) 2101-2106. https://doi.org/10.1116/1.1772370
- S. Tabara, Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 2508-2513. https://doi.org/10.1143/JJAP.36.2508
- L. Ley, M. Cardona, Y. Baer, M. Campagna, W. D. Grobman, Topics in Applied Physics, L. Ley and M. Cardona, Vol. 27, Springer-Verlag, Berlin Heidelberg New-York.
- B. A. De Angelis, C. Rizzo, S. Contarini, S. P. Howlett, Appl. Surf. Sci. 51 (1991) 177-183. https://doi.org/10.1016/0169-4332(91)90400-E
- C. H. Shan, W. Kowbel, Carbon 28 (1990) 287-299. https://doi.org/10.1016/0008-6223(90)90003-H
- T. L. Barr, J. Vac. Sci. Technol. A 9 (1991) 1793-1805. https://doi.org/10.1116/1.577464
- Thomas M. Miller, Amy E. Stevens Miller, John F. Paulson, and Xifan Liu, J. Chem. Phys. 100 (1994) 8841. https://doi.org/10.1063/1.466738
- D. C. Hays, K. B. Jung, Y. B. Hahn, E. S. Lambers, S. J. Pearton, J. Donahue, D. Johnson, and R. J. Shul, J. Electrochem. Soc. 146 (1999) 3812-3816. https://doi.org/10.1149/1.1392556