탄소나노튜브와 멤스 소자의 융합

  • Published : 2013.09.01

Abstract

이 글에서는 탄소나노튜브와 멤스(MEMS: Microelectromechanical system) 소자의 융합 기술 및 응용 분야에 대하여 소개하고자 한다.

Keywords