References
- Y. H. Jung, E. S. Lee, K. H. Kim, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 38 (2005) 150.
- Z. C. Jin, I. Harmberg, C. G. Granqvist, Thin Solid Films, 64 (1988) 381.
- J. W. Moon, D. W. Kim, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 40 (2007) 117. https://doi.org/10.5695/JKISE.2007.40.3.117
- D. R. Sahu, J.-L. Huang, Microelectron. J., 38 (2007) 299. https://doi.org/10.1016/j.mejo.2007.01.012
- Y. S. Park, S. H. Lee, P. K. Song, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 40 (2007) 107. https://doi.org/10.5695/JKISE.2007.40.3.107
- S. J. Henley, M. N. R. Ashfold, D. Cherns, Surf. Coat. Technol., 177-178 (2004) 271. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2003.09.005
- C. S. Hong, H. H. Park, J. Moon, H. H. Park, Thin Solid Films, 515(3) (2006) 957. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2006.07.055
- H. D Ko, W. P. Tai, K. C. Kim, S. H. Kim, S. J. Suha, and Y. S Kima, J. Cryst. Growth, 277 (2005) 352. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2005.01.061
- Y. Hayashi, K. Kondo, K. Murai, T. Moriga, I. Nakabayashi, H. Fukumoto, K. Tominaga, Vacuum, 74 (2004) 607. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2004.01.033
- T. Minami, S. Takata, H. Sato, and H. Sonohara, J. Vac. Sci. Technol. A, 13(3) (1995) 1095.
- J. Montero, C. Guilln, J. Herrero, Thin Solid Films, 519 (2011) 7564. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.103
- S. I. Kim, T. D. Jung, P. K. Song, Thin Solid Films, 518 (2010) 3085. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.08.017
- S. H. Park, J. B. Park, P. K. Song, Curr. Appl. Phys., 10 (2010) S488. https://doi.org/10.1016/j.cap.2010.02.036
- J. K. Sheu, K. W. Shu. M. L. Lee, G. C. Chi, Electrochemical Society, 154 (2007) 521. https://doi.org/10.1149/1.2721760
- S. Y. Ryu, Appl. Phys. Lett., 92 (2008) 023306. https://doi.org/10.1063/1.2835044
- X. W. Sun, L. D. Wang, H. S. Kwok, Thin Solid Films, 360 (2000) 75. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(99)01077-9
- N. Fujimura, T. Nishihara, S. Goto, J. Xu, T. Ito, J. Crystal Growth, 130 (1993) 269. https://doi.org/10.1016/0022-0248(93)90861-P
- S. E. Park, S. H. Park, J. Lue, P. K. Song, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 41 (2008) 142. https://doi.org/10.5695/JKISE.2008.41.4.142
- S. Y. Oh, E. K. Kim, T. Y. Lee, J. T. Song. J. Electron. Mater. Eng., (2007) 776.