Information Display (인포메이션 디스플레이)

The Korean Infomation Display Society (한국정보디스플레이학회)
권호 표지

마이크로칼럼 기술

  • 오태식 (선문대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 김대욱 (선문대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 안승준 (선문대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 김호섭 (선문대학교 정보디스플레이학과)
  • Published : 2012.08.31
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords

References

  1. M. L. Yu, M. G. R. Thomson, and T. H. P. Chang, H. S. Kim, E. Kratschmer, J. Vac. Sci. Technol. B, 12(6), 3413, (1994). https://doi.org/10.1116/1.587523
  2. H. S. Kim, M. L. Yu, E. Kratschmer, B. W. Hussey, M. G. R. Thomson, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B, 13(6), 2468, (1995). https://doi.org/10.1116/1.588023
  3. H. S. Kim, M. L. Yu, M. G. R. Thomson, E. Kratschmer, and T. H. P. Chang, J. Appl. Phys. 81(1), 461, (1997).
  4. H. S. Kim, M. L. Yu, M. G. R. Thomson, E. Kratschmer, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 15(6), 2284, (1997). https://doi.org/10.1116/1.589630
  5. M. G. R. Thomson and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 13(6), 2445, (1995). https://doi.org/10.1116/1.588018
  6. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B, 13(6), 2498, (1995). https://doi.org/10.1116/1.588381
  7. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, S. Zolgharnain, B. W. Hussey, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B, 14(6), 3792 (1996). https://doi.org/10.1116/1.588669
  8. H. S. Kim, M. L. Yu, U. Staufer, L. P. Muray, D. P. Kern, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B, 11(6), 2327, (1993). https://doi.org/10.1116/1.586981
  9. M. L. Yu, B. W. Hussey, H. S. Kim, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B, 12(6), 3431, (1994). https://doi.org/10.1116/1.587526
  10. M. L Yu, H. S. Kim, B. W. Hussey, T. H. P. Chang, and W. A. Mackie, J. Vac. Sci. Technol. B, 14(6), 3797, (1996). https://doi.org/10.1116/1.588670
  11. 김호섭, 김영철, 김대욱, 안승준,"Field emitter for Micro-column lithography application", Field Emission Workshop, (2003).
  12. 김영철, 김대욱, 안승준, 김호섭, 장원권, 한국광학회, 13(4), 314, (2002).
  13. 박성순, 김대욱, 안승준, 김영철, 최상국, 김대용, 김호섭, "High beam current microcolumns with large apertures", 2003 Inter- national Microprocesses and Nanotechnology Conference, (2003).
  14. 김영철, 김대욱, 안승준, 최상국, 김대용, 김호섭, "Effects of the Einzel Lens Structure in Microcolumn", 2003 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, (2003).
  15. 신성숙, 박종선, 장원권, 박성순, 안승준, 김대욱, 김호섭, "회절무늬를 이용한 microcolumn용 초소형 전자렌즈의 정렬", 한국물리학회 학술대회, (2003).
  16. 김대욱, 안승준, 김영철, 안성준, 김호섭, "An alignment of Micro-lenses in the Micro-column using the Laser diffraction pattern", 첨단레이저 및 레이저 응용, (2003).
  17. K. Y. Lee, S. A. Rishton, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B, 12(6), 3425, (1994). https://doi.org/10.1116/1.587525
  18. T. H. P. Chang, M. Mankos, K.Y. Lee, L. P. Muray, Microelectron. Eng.57-58,117(2001). https://doi.org/10.1016/S0167-9317(01)00528-7
  19. H. Kim, C. Han, K. J. Chun, Jpn. J. Appl. Phys., 42, 4084 (2003). https://doi.org/10.1143/JJAP.42.4084
  20. J. W. Jeong, D. J. Kim, H. S. Kim, S. K. Choi, D. Y. Kim, H. R. Lee, Jpn. J. Appl. Phys. B, 44, 5565 (2005). https://doi.org/10.1143/JJAP.44.5565
  21. H. S. Kim, Y. C. Kim, D. W. Kim, S. J. Ahn, Y. Jang, H. W. Kim, D. J. Seong, K. W. Park, S. S. Park, B. J. Kim, Microelectron. Eng. 83, 962 (2006). https://doi.org/10.1016/j.mee.2006.01.099
  22. T. H. P. Chang, M. G. R. Thomson, M. L. Yu, E. Kratschmer, H. S. Kim, K. Y. Lee, and S. A. Rishton, Microelectron. Eng., 32, 113 (1996). https://doi.org/10.1016/0167-9317(95)00366-5
  23. T. H. P. Chang, M. G. R. Thomson, E. Kratschmer, H. S. Kim, M. L. Yu, K. Y. Lee, S. A. Rishton, B. W. Hussey, S. Zolgharnain, J. Vac. Sci. Technol. B, 14, 3774 (1996) https://doi.org/10.1116/1.588666
  24. Tae-Sik Oh, Dae-Wook Kim, Young Chul Kim, Seungjoon Ahn, Gun-hee Lee, and Ho-Seob Kim, J. Vac. Sci. Technol. B, 26(6), C6C69, (2010).
  25. 오태식, 김호섭, 김대욱, 이건희, 한국산학기술학회, 12(4), 1803 (2011)