실리콘 잉곳 절삭시 발생하는 폐 PEG 색도 개선에 관한 연구

Chromaticity Improvement of PEG Waste from Wire Sawing of Silicon Ingot

활성탄소 분말과 탄소필터를 이용하여 실리콘 폐슬러리에서 회수한 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol, PEG) 폐액의 색도 개선연구를 수행하였다. 활성탄소의 사용량, 흡착온도 및 흡착시간 변화에 따른 색도 변화를 관찰하였다. 탄소필터를 사용할 경우 충진된 활성탄소의 재생에 따른 성능 저하 여부를 검정하였다. 활성탄소의 표면적은 색도 개선에 큰 영향을 주지 않았다. 흡착제 함량에 따른 색도 변화 결과로부터 흡착제의 최적 사용량은 100~150 mg-C/g-PEG이였다. 흡착제 양을 고정하고 흡착 온도를 상온에서 $100^{\circ}C$까지 변화시키면서 PEG의 APHA(American Public Health Association) 색 값을 관찰한 결과 폐 PEG의 색도 개선을 위해서는 $40{\sim}50^{\circ}C$ 온도에서 운전하는 것이 가장 효과적이었다. 활성탄소필터의 운전 조건별 APHA 특성을 관찰하였고 APHA=53인 폐 PEG를 $APHA{\leq}10$로 정제 가능함을 확인하였다. 흡착에 사용된 활성탄소필터는 증류수를 순환시켜 세척함으로써 큰 성능 저하 없이 효과적으로 재생됨을 확인하였다.

The chromaticity of polyethylene glycol (PEG) generated from the recyling of a silicone slurry waste was improved by using activated carbon powder and a carbon filter. The color change of the PEG waste was investigated by changing the amount of adsorbent, adsorption time and temperature. The surface area of activated carbon did not have a significant impact on improving the color of the PEG waste. According to the results for the APHA color variation of the PEG waste changing the amount of the carbon adsorbent, the optimal usage to achieve the low APHA value was 100~150 mg-C/g-PEG. From the investigatnion on the effect of the adsorption temperature range from $25^{\circ}C$ to $100^{\circ}C$, it was found that the optimal temperatures were $40{\sim}50^{\circ}C$ in terms of achieving the lowest APHA value. The variation of the APHA color was investigated by changing the operation condition of the activated carbon filters. The use of ACF was a good way to enhance the chromaticity of the PEG waste. As a result, the APHA value of the PEG waste (APHA=53 at the initial waste) was reduced to be 10 through the ACF purification. It was also confirmed that the performance of the used carbon adsorbent can be recovered by the washing with purified water.