Abstract
차분 진동형 가속도계는 입력 가속도에 따른 공진 주파수의 변화를 감지하는 공진형 센서이다. 이 때 가속도계 전기적 동역학의 수학적 모델링 및 구조 특성의 실험적 검증이 정밀한 제어기 및 높은 양질계수를 가지는 구조 설계에 앞서 필요하게 된다. 본 논문에서는 차분 진동형 가속도계의 공진자, 전극 모듈 및 전치증폭기 등의 전기적 모델링을 제시한다. 이러한 모델링 기법은 공진 주파수, 유효 질량, 유효 강성, 양질 계수 등을 측정함으로써 실험적으로 검증된다. 또한 모델링을 통해 예측된 진폭과 측정된 전치증폭기 출력의 직접적인 비교는 본 연구의 유효성을 보여준다.
Differential Vibrating Accelerometer(DVA) is a small and accurate resonant device to sense the change in natural frequency in presence of acceleration input. Both mathematical modeling for the electromechanical dynamics and experimental investigation on the structural characteristics are necessary for effective designs of precision controller and high Q-factor structure. In this paper, electromechanical modeling of the resonator of DVA, electrode module, and pre-amplifier is presented. The presented method is experimentally verified by measuring the resonance frequency, effective mass, effective stiffness and Q-factor. The direct comparison of the calculated displacement and the actual pre-amplifier of DVA also indicates the effectiveness of this study.