산화물 TFT 연구 동향

  • 권장연 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2010.04.30

Abstract

Keywords

References

  1. E. Fortunato, P. Barquinha, A. Pimentel, A. Goncalves, A. Marques, L. Pereira, R. Martins, Adv. Mater. 17, 590.(2005) https://doi.org/10.1002/adma.200400368
  2. B. Yaglioglu, H. Y. Yeom, B. Beresford, D. C. Paine, Appl. Phys. Lett., 89, 062103. (2006) https://doi.org/10.1063/1.2335372
  3. D. Hong, H. Q. Chiang, J. F. Wager, J. Vac. Sci. Technol. B, 24, L23. (2006) https://doi.org/10.1116/1.2345206
  4. H. Yabuta, H. Sano, K. Abe, T. Aiba, T. Den, H. Kumomi, K. Nomura, T. Kamiya, H. Hosono, Appl. Phys. Lett, 89, 112123. (2006) https://doi.org/10.1063/1.2353811
  5. J. K. Jeong, J. H. Jeong, H. W. Yang, J.-S. Park, Y.-G. Mo, H. D. Kim, Appl. Phys. Lett., 91, 113505. (2007) https://doi.org/10.1063/1.2783961
  6. J.-S. Park, K. Kim, Y.-G. Park, Y.-G. Mo, H. D. Kim, J. K. Jeong, Adv Mater. , 21, 329. (2009) https://doi.org/10.1002/adma.200802246
  7. K.-S Son, T.-S. Kim, J.-S. Jung, M.-K. Ryu, K.-B. Park, B.-W. Yoo, J. Y. Kwon, Electrochem. Sol. Stat. Lett., 12, H26 (2008)
  8. J. Y. Kwon, J.-S. Son, J.-S. Jung, K.-H. Lee, J. S. Park, T.-S. Kim, K. H. Ji, R. Choi, J. K. Jeong, B. Koo, S. Y. Lee, Electrochem. Sol. Stat. Lett., accepted (2010)
  9. K.-H Lee, J.-S. Jung, K.-S. Son, J. S. Park, T. -S. Kim, R. Choi, J. K. Jeong, J. Y. Kwon, B. Koo, S. Y. Lee, Appl. Phys. Lett. 95, 232106 (2009) https://doi.org/10.1063/1.3272015