References
- K. H. Min, K. C. Chun, K. B. Kim, J. Vac. Sci. Technol. B, 14(5) (1996) 3263 https://doi.org/10.1116/1.588818
- J. S. Park, M. J. Lee, C. S. Lee, S. W. Kang, Electrochem. Solid State Lett., 4 (2001) C17 https://doi.org/10.1149/1.1353160
- M. L. Green, M. Y. Ho, B. Busch, G. D. Wilk, T. Sorsch, T. Conard, B. Brijs, W. Vandervorst, P. I. Raisanen, D. Muller, M. Bude, J. Grazul, J. Appl. Phys., 92 (2002) 7168 https://doi.org/10.1063/1.1522811
- B. H. Lee, R. Choi, L Kang, S. Gopalan, R. Nieh, K. Onishi, Y. Jeon, W. J. Qi, C. Kang, J. C. Lee, 'Characteristics of TaN Gate MOSFET with Ultrathin Hafnium Oxide (8A-12A)', International Electron Devices Meeting, (2000) 39
- C. S. Kang, H. J. Cho, Y. H. Kim, R. Choi, K. Onishi, A. Shahriar, J. C. Lee, J. Vac. Sci. Technol. B, 21(5) (2003) 2026 https://doi.org/10.1116/1.1603285
- C. K. Hu, L. Gignac, S. G. Malhotra, R. Rosenberg, S. Boettcher, Appl. Phys. Lett., 78 (2001) 904 https://doi.org/10.1063/1.1347400
- A. Arranz, C. Palacio, Surf. Interface Anal., 29 (2000) 653 https://doi.org/10.1002/1096-9918(200010)29:10<653::AID-SIA913>3.0.CO;2-T
- P. Lamour, P. Fioux, A. Ponche, M. Nardin, M. F. Vallat, P. Dugay, J. P. Brun, N. Moreaud, J. M. Pinvidic, Surf. Interface Anal., 40 (2008) 1430 https://doi.org/10.1002/sia.2919
- S. K. Yang, H. H. Kim, B. H. O, S. G. Lee, E. H. Lee, S. G. Park, S. P. Chang, J. G. Lee, H. Y. Song, J. Korean Phys. Soc., 51 (2007) S198 https://doi.org/10.3938/jkps.51.198
- M. H. Shin, M. S. Park, N. E. Lee, J. Kim, C. Y. Kim, J. Ahn, J. Vac. Sci. Technol. A, 24(4) (2006) 1373 https://doi.org/10.1116/1.2210944
- K. Nakamura, T. Kitagawa, K. Osari, K. Takahashi, K. Ono, Vacuum, 80 (2006) 761 https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2005.11.017
- W. S. Hwang, J. Chen, W. J. Yoo, V. Bliznetsov, J. Vac. Sci. Technol. A, 23(4) (2005) 964 https://doi.org/10.1116/1.1927536
- M. H. Shin, S. W. Na, N. E. Lee, J. H. Ahn, Thin Solid Films, 506-507 (2006) 230 https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.019
- F. A. Khan, L. Zhou, V. Kumar, I. Adesida, R. Okojie, Mat. Sci. Eng. B, 95 (2002) 51 https://doi.org/10.1016/S0921-5107(02)00160-5
- S. M. Koo, D. P. Kim, K. T. Kim, and C. I. Kim, Mat. Sci. Eng. B, 118 (2005) 201 https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.12.029
- F. A. Khan and I. Adesida, Appl. Phys. Lett., 75 (1999) 2268 https://doi.org/10.1063/1.124986