Ceramist (세라미스트)
- Volume 12 Issue 1
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- Pages.33-48
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- 2009
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- 1226-976X(pISSN)
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- 2586-0631(eISSN)
반도체 제조 공정용 SiC 소재 기술
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Jo, Gyeong-Seon
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- Yun, Seong-Ho ;
- Jeong, Hun ;
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Chae, Su-Ho
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Im, Gwang-Yeong
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Kim, Yeong-Uk
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Park, Sang-Hwan
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조경선
(한국과학기술연구원 재료연구기술본부) ;
- 윤성호 (한국과학기술연구원 재료연구기술본부) ;
- 정훈 (한국과학기술연구원 재료연구기술본부) ;
-
채수호
(서울시립대학교 신소재공학과) ;
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임광영
(서울시립대학교 신소재공학과) ;
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김영욱
(서울시립대학교 신소재공학과) ;
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박상환
(한국과학기술연구원 재료연구기술본부)
- Published : 2009.02.28
Abstract
Keywords