인포메이션 디스플레이 (Information Display)

한국정보디스플레이학회 (The Korean Infomation Display Society)
권호 표지

대면적 고효율 스퍼터링 장치의 시장 현황과 기술적 발전 과제

  • 발행 : 2009.10.30
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참고문헌

  1. C. J. Wikersham, Jr., J. E. Poole, A. Leybovich, and L. Zhu, J. Vac. Sci. TechnolA., 19 (2001) 2767 https://doi.org/10.1116/1.1403719