무연 압전 세라믹스를 이용한 적층형 액추에이터 공정 기술

  • 정순종 (한국전기연구원 에너지변환소자연구센터) ;
  • 김민수 (한국전기연구원 에너지변환소자연구센터)
  • Published : 2009.10.31