참고문헌
- Y. Sato, K. Amemiya, N. Saegusa, and M. Uchidoi, in IEDM Tech. Dig. (2002) , P. 1060
- J. W. Kang, J. Vac. Sci. Technol. B. 21, 1108 (2003) https://doi.org/10.1116/1.1577573
- G. Oversluizen, M. Klein, S. de Zwart, S. van Heusden, and T. Dekker, J. Appl. Phys. 91, 2403 (2002) https://doi.org/10.1063/1.1430896
- M.F.Gillies and G. Oversluizen, J. Appl. Phys. 91, 6315 (2002) https://doi.org/10.1063/1.1465102
- T. Yoshioka, A. Miyakoshi, A. Okigawa, E. Mizobata, and K. Toki, in Proc. 7th Int. Workshop (2000) , p. 611
- B. J. Shin, Trans. KIEE. 52C, 529 (2003)
- C. H. Park, S. H. Lee, D. H. Kim, Y. K. Kim, and J. H. Shin, IEEE Trans. Electron. 48, 2255 (2001) https://doi.org/10.1109/16.954463
- N. Nagao, N. Kosugi, Y. Takata, N. Nishimura, K. Sumida, and S. Fujiwara, in IDW' 02 Dig. (2002) , p. 765
- J. Y. Kim, S. K. Jang, H. S. Tae, and E. Y. Jeong, in SID' 06 Dig. (2006) , p. 571
- J. W. Kang, IEEE Trans. Electron Devices. 52, 922 (2005) https://doi.org/10.1109/TED.2005.846333
- J. W. Kang, IEEE Trans. Plasma Sci. 34, 371 (2006) https://doi.org/10.1109/TPS.2006.872454
- W. K. Min, J. Kang, S. C. Choi, J. W. Song, J. B. Park, and J. R. Lim, in SID' 03 Dig, (2003) , p. 422
- I. S. Lee, S. J. Yoon, O. D. Kim, and K. Y. Choi, in IDW' 04 Dig, (2004) , p. 1055
- S. B. Lee, B. H. Hong, and E. H. Choi, in IDW' 06 Dig. (2006) , p. 1117
- K. N. Kim, S. H. Yang, and C. H. Moon, in IDMC' 07 Dig. (2007) , p. 604
- S. H. Yang, J. S. Moon, K. N. Kim, and C. H. Moon, in IMID' 07 Dig. (2007) , p. 589
- J. Ouyang, Th. Callegari, B. Caillier, and J. P. Boeuf, IEEE Trans. Plasma Sci. 31, 422 (2003) https://doi.org/10.1109/TPS.2003.812343
- K. H. Park and Y. S. Kim, JID. vol.7, no.2, 1 (2006) https://doi.org/10.1038/jid.1946.1