플라즈마 기술의 연구개발 동향

R&D Trends in Plasma Technologies

  • 박중호 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 윤소남 (한국기계연구원 나노기계연구본부/스마트디바이스응용연구팀) ;
  • 함영복 (한국기계연구원)
  • 발행 : 2008.09.01