초록
미세 탐침이란 프로브 카드(Probe Card)를 구성하는 초미세탐침을 의미한다. 이러한 미세 탐침은 그 크기가 상당히 미세하기 때문에 외관 이상 유무를 사람의 눈으로 검사하기가 상당히 어렵다. 반면, 프로브카드를 구성하는 미세 탐침의 이상 유무는 상당히 중요한 요소라고 볼 수 있다. 이에 본 연구에서는 사람의 눈으로 검사하기 어려운 미세 탐침의 불량 상태를 자동화된 비전 시스템으로 검사할 수 있는 방법을 개발하였다. 즉 탐침의 구부러진 각도, Tip Length, 종단 직경을 고속으로 자동 검사할 수 있는 비전 기술을 개발한 것이다 제안한 방법에 의한 실험결과, 사람의 육안에 위한 검사보다 검사의 정확도와 속도가 향상되었으며, 또한 조명환경에 대해서도 강건성(robustness)이 향상되었음을 알 수 있었다.
The micro needle means the ultrafine probe of 'Probe Card'. The size of micro needle is so minute that it is difficult to minute that it is difficult to inspect it with eyes. On the other hand it is very critical if there is a defect in micro needle of probe card. In this study, we developed an automatic visual inspection system for finding defect status in probe angle, tip length and diameter. Through the experimental results, we could find that our proposed method is better than human-eyes inspection method in accuracy and inspection speed, and also in robustness to lighting circumstances.