한국안광학회지 (Journal of Korean Ophthalmic Optics Society)

한국안광학회 (The Korean Ophthalmic Optics Society)
권호 표지

스핀코팅으로 금속물질을 도핑한 TiO2박막의 광학적 특성

Optical properties of metal doped TiO2 thin films prepared by spin coating-pyrolysis process

  • 황규석 (남부대학교 의료광학과) ;
  • 김재민 (건양대학교 안경광학과) ;
  • 정주현 (건양대학교 안경광학과)
  • Hwang, Kyu-Seong (Department of Biomedical Photonics, Nambu University) ;
  • Kim, Jai-Min (Department of Ophthalmic Optics, Konyang University) ;
  • Jung, Ju-Hyun (Department of Ophthalmic Optics, Konyang University)
  • 투고 : 2006.11.03
  • 발행 : 2007.01.31
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초록

Ti-나프텐산염과 금속을 출발원료로 사용하고, 스핀코팅-열분해법을 이용하여 실리카 유리위에 박막을 제조하였다. 도포된 박막은 $500^{\circ}C$ 공기에서 10min동안 열처리하였다. 이를 5회 코팅한 박막은 마지막으로 공기에서 $600^{\circ}C$에서 30min으로 하였다. 박막의 특성을 분석하기 위하여 X-선 회절 분석, 전자현미경, UV스펙트럼을 이용하여 분석하였다. 밴드갭에서 가장 큰 장파장 쪽으로 이동은 Fe을 도핑한 $TiO_2$ 박막이었다.

Metal-doped $TiO_2$ thin films were prepared on soda-lime-silica glass substrates by using a spin coating-pyrolysis process. As-deposited films were prefired at $500^{\circ}C$ or 10 min in air. Five-coated films were finally annealed at $600^{\circ}C$ for 30 min in air. High resolution X-ray diffraction, field emission scanning electron microscope and UV spectrophotometer were used to analyze film's property. The largest red shift in optical energy gap is obtained in the Fe-doped $TiO_2$ film.

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