초미세구조물 제조기술 개발, 생산공정 및 경비절감에 큰 활용 기대

  • Published : 2006.05.01

Abstract

연구중심의 대학원 광주과학기술원 기전공학과의 레이저 나노가공연구실에서는 반도체 회사 및 관련 장비 제조업체들이 유용하게 활용할 수 있는 초미세구조물 제조하는 기술을 중점 개발하고 있다. 이를 통해 기존의 기술로는 불가능했던 제품의 가공을 가능하게 하거나 시간 및 경비가 많이 드는 현재의 생산 공정을 단순하고 경비가 절감되는 공정으로 대체하는데 유용하게 활용될 것으로 큰 기대를 모으고 있다.

Keywords