Abstract
Accuracy and precision of the goniometer and the specimen holder should be measured and corrected to improve reliability of 3-D structure analysis using transmission electron microscopy (TEM). In this study, we described the operation principle and performance of the Gatan rotation holder. Through analysis of the images taken inside the microscope, rotation angles were measured within the accuracy of ${\pm}0.42^{\circ}$. For comparison the rotation angles were measured outside the microscope using a home-made measurement tool, which resulted in the accuracy of ${\pm}0.6^{\circ}$. Additionally, we found abnormal specimen drifts during rotation probably due to the unstable engagement between the specimen cup and the rotation belt.
투과전자현미경을 이용한 3차원적 구조분석의 신뢰도를 향상시키기 위해서는 고니오미터와 사용되는 시료 홀더에 대한 정확도와 정밀도의 측정 및 보정이 필요하다. 본 연구에서는 상업용 투과전자현미경 홀더 중의 하나인 rotation holder에 대한 작동원리를 기술하고 회전각의 정확도를 측정하였다. 투과전자현미경 내부에서 회전된 이미지의 분석을 통한 홀더의 회전각의 측정오차는 ${\pm}0.42^{\circ}$이었다. 회전각의 정확도를 비교하기 위해 투과전자 현미경 외부에서 시료 홀더에 부착된 반사경에 레이저 빔을 반사시켜 측정한 결과, 회전각의 측정오차는 ${\pm}0.6^{\circ}$이었다. 추가적으로 시료컵과 회전벨트 사이의 불안정한 맞물림에 의해 야기된 비정상적인 시료의 회전경로에 대해서도 점검하였다.
