70 nm MHEMT와 DAML 기술을 이용한 우수한 성능의 94 GHz 단일 평형 혼합기

High-performance 94 GHz Single Balanced Mixer Based On 70 nm MHEMT And DAML Technology

본 논문에서는 70 nm InGaAs/InAlAs MHEMT와 DAML 기반의 하이브리드 링 결합기를 이용하여 낮은 변환 손실과 높은 격리도 특성을 갖는 94 GHz 단일 평형 혼합기를 개발하였다. 혼합기에 사용된 MHEMT는 607 mA/mm의 드레인 전류 밀도, 1015 mS/mm의 전달컨덕턴스, 330 GHz의 전류이득차단주파수, 425 GHz의 최대공진주파수 특성을 나타내었다. 제작된 하이브리드 링 결합기는 $85GHz{\sim}105GHz$의 범위에서 $3.57{\pm}0.22dB$의 커플링 손실과 $3.80{\pm}0.08dB$의 삽입 손실 특성을 나타내었다. 혼합기의 측정 결과, $93.65GHz{\sim}94.25GHz$의 범위에서 $2.5dB{\sim}2.8dB$의 변환 손실 특성과 -30 dB 이하의 격리도 특성을 얻었으며, 94 GHz의 중심주파수에서 6 dBm의 LO 전력을 인가하였을 때 2.5 dB의 최소 변환 손실 특성을 얻었다. 변환 손실 및 격리도 특성을 고려할 때, 본 논문에서 개발된 혼합기의 특성은 지금까지 보고된 GaAs 기반 HEMT소자들을 사용하는 94 GHz 대역용 혼합기 중에 가장 우수한 결과물이다.

In this paper, the 94 GHz, low conversion loss, and high isolation single balanced mixer is designed and fabricated using GaAs-based metamorphic high electron mobility transistors (MHEMTs) with 70 nm gate length and the hybrid ring coupler with the micromachined transmission lines, dielectric-supported air-gapped microstrip lines (DAMLs). The 70 nm MHEMT devices exhibit DC characteristics with a drain current density of 607 mA/mm an extrinsic transconductance of 1015 mS/mm. The current gain cutoff frequency ($f_T$) and maximum oscillation frequency ($f_{max}$) are 320 GHz and 430 GHz, respectively. The fabricated hybrid ring coupler shows wideband characteristics of the coupling loss of $3.57{\pm}0.22dB$ and the transmission loss of $3.80{\pm}0.08dB$ in the measured frequency range of 85 GHz to 105 GHz. This mixer shows that the conversion loss and isolation characteristics are $2.5dB{\sim}>2.8dB$ and under -30 dB, respectively, in the range of $93.65GHz{\sim}94.25GHz$. At the center frequency of 94 GHz, this mixer shows the minimum conversion loss of 2.5 dB at a LO power of 6 dBm To our knowledge, these results are the best performances demonstrated from 94 GHz single balanced mixer utilizing GaAs-based HEMTs in terms of conversion loss as well as isolation characteristics.