DOI QR코드

DOI QR Code

PD controller design for Micro Gyroscope and Its Performance Test

마이크로 자이로스코프를 위한 PD 제어기 설계 및 성능시험

  • 성운탁 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 송진우 ((주)마이크로인피니티) ;
  • 이장규 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 강태삼 (건국대학교 기계항공공학부)
  • Published : 2005.03.01

Abstract

This paper presents a performance improvement result with the aid of closed feedback controller loop to a micro gyroscope. The dynamic model of a micro gyroscope is derived and a conventional proportional and derivative controller is designed via frequency domain analysis. The proposed control loop is implemented using several analog devices and applied to the SNU-Bosch MEMS gyroscope to check its performance improvement in real environment. The experiments demonstrated the performance improvement with the proposed feedback control loop. The bandwidth, linearity, and bias stability are improved to 78 Hz, 0.504 %, and 0.043 deg/sec, respectively, from 35 Hz, 2.07 %, and 0.066 deg/sec of open loop system.

본 논문에서는 마이크로 자이로스코프를 위한 폐루프 제어기를 설계하여 그 성능이 개선됨을 보였다. 마이크로 자이로스코프는 높은 Q값을 가지는 시스템으로 그 특성상 공진 영역에서 동작하게 되는데, 개루프로 동작할 경우 선형성, 대역폭 등의 성능에 제약이 있게 된다. 폐루프 제어기는 개루프 동작시의 이러한 제약을 극복하고 성능을 개선할 수 있도록 한다. 본 연구에서는 PD 제어기를 적용하였으며 실험 대상이 된 마이크로 자이로스코프는 서울대에서 설계하고 Bosch foundry에서 제작한 SNU-Bosch MEMS 자이로스코프를 사용하였다. 실험을 통해 폐루프 제어기의 성능을 검증한 결과 대역폭은 35Hz에서 78Hz로, 선형성은 2.07%에서 0.504%로, 바이어스 안정도는 0.066deg/sec에서 0.043deg/sec로 개선되는 것을 확인할 수 있었다.

Keywords

References

  1. 박찬국, 진용, 원종석, '관성항법시스템을 위한 센서오차의 최적추정 기법', 한국항공우주학회지, Vol. 26, No.5, 1998, pp. 116-125
  2. 이대훈, 박대은, 윤의식, 권세진, 'KAIST의 MAV용 MEMS 엔진 개발 현황', 한국항공우주학회지, Vol. 30, No. 6, 2002, pp. 01-06
  3. 백창일, 추원식, 안성훈, '기계식 마이크로 가공을 이용한 마이크로 로켓의 개발,' 한국항공우주학회지, Vol. 31, No. 9, 2003, pp. 32-37
  4. J. W. Song, J. G. Lee, T. Kang, W. T. Sung, H. T. Lim, and Y. K. Kim, 'Design of a Gimbal-Structured Micro Gyroscope and Signal Processing Part', Proceedings of ICCAS2001, pp. 1266-1269
  5. N. Yazdi, F. Ayazi and K. Najafi, 'Micrornachined Inertial Sensors', Proceeding of the IEEE, vol. 86, No. 8, August 1998, pp. 1640-1659 https://doi.org/10.1109/5.704269
  6. F. Ayazi and K. Najafi, 'A HARPSS Polysilicon Vibrating Ring Gyroscope', Journal of Microelectro-mechanical system, vol. 10, No. 2, June 2001, pp. 169-179 https://doi.org/10.1109/84.925732
  7. W. Geiger, J. Merz, T. Fischer, B. Folkmer, H. Sandmaier and WaIter Lang, 'The silicon angular rate sensor system DAVED', Sensors and Actuators 84, 2000, pp. 280-284 https://doi.org/10.1016/S0924-4247(00)00392-7
  8. A. M. Shkel, R. Horowitz, A. A. Seshia, S. Park, and R. T. Howe, 'Dynamics and control of micromachined gyroscopes', Proceedings, American Control Conference, San Diego, Calif., June 2-4, 1999. pp. 2119-2124
  9. C. Acar, S, Eler, and A. M. Shkel, 'Concept, Implementation, and Control of Wide Bandwidth MEMS Gyroscopes', Proceeding of The American Control Conference, June 25-27, 2001, pp. 1229-1234
  10. Sungsu Park, Horowitz, R. 'Adaptive control for z-axis MEMS gyroscopes', Proceedings of the 2001 American Control Conference Arlington, VA, USA, June 25-27, vol. 2, pp.1223-1228
  11. R. P. Leland, 'Lyapunov Based Adaptive Control of a MEMS Gyroscope', Proceedings of the 2002 American Control Conference, Anchorage, AK, pp. 3765-3770
  12. X. Jiang, J. I. Seeger, M. Kraft, and B. E. Boser, 'A Monolithic Surface Micromachined Z-Axis Gyroscope with Digital Output', in Symp. on VLSI Circuits Dig. of Tech. Papers, June 2000, pp. 16-19
  13. M. Kranz, S. BurgeU, T. Hudson, M. Buncick, P. Ruffin, P. Ashley, and J. McKee, 'A wide dynamic range silicon-on-insulator MEMS gyroscope with digital force feedback', The 12th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS '03, Boston, June 8-12, 2003, pp. 159-162
  14. 임형택, 'MEMS 기술을 이용한 비연성된 평면 진동형 방식의 관성 항법 장치용마이크로 자이로스코프의 설계,' 제작 및 평가에 관한 연구', 2001. 8, 서울대학교 공학박사 학위논문

Cited by

  1. A novel control loop design and its application to the force balance of vibratory rate sensor vol.7, pp.4, 2009, https://doi.org/10.1007/s12555-009-0406-2