반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향

  • 김상태 (동우화인켐 기술연구소) ;
  • 양돈식 (동우화인켐 기술연구소) ;
  • 박한우 (동우화인켐 기술연구소) ;
  • 김태호 (동우화인켐 기술연구소)
  • Kim Sang-Tae (Dongwoo Fine-Chem. Co., Ltd. Research Center) ;
  • Yang Donsik (Dongwoo Fine-Chem. Co., Ltd. Research Center) ;
  • Park Hanwoo (Dongwoo Fine-Chem. Co., Ltd. Research Center) ;
  • Kim Taeho (Dongwoo Fine-Chem. Co., Ltd. Research Center)
  • 발행 : 2005.02.01