초록
본 논문에서는 3개의 전극(중심전극, 내부전극 및 외부전극)과 1개의 방전간극(내부전극과 외부전극 사이의 방전간극)으로 구성된 무성방전형 오존발생기를 설계 제작하였다. 진공방전관내에 장착한 중심전극과 내부전극에 2개의 교류 고주파 고전압을 각각 인가하고 외부전극을 공통접지함으로써 방전간극에서 무성방전에 의하여 오존이 생성되는 구조이다. 이때 방전관의 진공도, 전원장치의 주파수, 방전전력 및 산소원료가스 유량 변화에 따른 방전특성과 오존생성특성을 연구 검토하였다. 그 결과 방전관의 진공도와 전원장치의 주파수가 높을수록 오존생성특성이 상승하였으며 최대 7,700[ppm], 460[mg/h] 및 70[g/kwh]의 오존을 얻을 수 있었다.
The silent discharge type ozonizer with three electrodes(central electrode, internal electrode, and external electrode) and one discharge gap(discharge gap between internal electrode and external electrode) has been designed and manufactured. It is a silent discharge type ozonizer for which the AC high frequency voltages applied to the central electrode within vacuum discharge tube and the internal electrode for which the external electrode is a ground Ozone is generated by silent discharge in discharge gap. At the moment, discharge characteristics and ozone generation characteristics were investigated in accordance with vacuum of discharge tube, frequency of AC power source, discharge power of ozonizer, and quantity of supplied oxygen gas. In consequence, ozone characteristics proportional to vacuum of discharge tube and frequency of AC power source. The maximum value of ozone can be obtained 7,700[ppm], 460[mg/h] and 70[g/kwh].