Journal of the Semiconductor & Display Technology (반도체디스플레이기술학회지)
- Volume 4 Issue 4 Serial No. 13
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- Pages.9-12
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- 2005
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- 1738-2270(pISSN)
Effect of Growth Temperature on the Properties of ZnO Films Grown by MOCVD
MOCVD로 제작한 ZnO의 성장온도에 따른 특성 변화
- Seo Hyun-Seok (Department of Electrical and Computer Engineering, Ajou University) ;
- Jeong Eui-Hyuk (Department of Electrical and Computer Engineering, Ajou University) ;
- Jo Jung-Yol (Department of Electrical and Computer Engineering, Ajou University) ;
- Choi Yearn-Ik (Department of Electrical and Computer Engineering, Ajou University) ;
- Seo O-Gweon (Samsung Advanced Institute of Technology, NFC)
- 서현석 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부) ;
- 정의혁 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부) ;
- 조중열 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부) ;
- 최연익 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부) ;
- 서오권 (삼성 종합기술원 NFC)
- Published : 2005.12.01
Abstract
Characteristics of ZnO films grown on