공업화학 (Applied Chemistry for Engineering)

  • 제16권5호
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  • Pages.660-663
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  • 2005
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  • 1225-0112(pISSN)
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  • 2288-4505(eISSN)
한국공업화학회 (The Korean Society of Industrial and Engineering Chemistry)
권호 표지

새로운 산증식제로 벤젠다이올의 p-톨루엔술폰산 에스터 유도체에 관한 연구

p-Toluenesulfonate Ester Derivatives of Benzendiol as Novel Acid Amplifiers

  • 강지은 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부) ;
  • 홍경일 (한국화학연구원 복합기능환경소재팀) ;
  • 임권택 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부) ;
  • 정연태 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부)
  • 투고 : 2005.04.12
  • 심사 : 2005.08.01
  • 발행 : 2005.10.10
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초록

새로운 산증식제를 개발하기 위하여 2-hydroxyphenyl-4-methylbenzenesulfonate (1), 3-hydroxyphenyl-4-methylbenzene-sulfonate (2), 4-hydroxyphenyl-4-methylbenzenesulfonate (3)가 우수한 열적 성질을 갖는 방향족 산증식제로서 합성되었다. 이러한 새로운 산증식제들은 광산발생제로부터 생성된 소량의 산에 의해 자동촉매반응으로 p-톨루엔술포산을 생성하였다. 이러한 방향족 술포산 에스터들은 poly(tert-butyl methacrylate, PtBMA) 필름에서 우수한 열적 안정성을 보였고 감도증진제로서 작용하는 최초의 방향성 산증식제임이 증명되었다. 화학 증폭형 포토레지스트에 합성한 방향족 산중식제를 첨가한 경우에 감도가 3~6배 정도 증진되었다.

Aiming the development of novel acid amplifiers, 2-hydroxyphenyl-4-methylbenzenesulfonate (1), 3-hydroxyphenyl-4-methylbenzene sulfonate (2), 4-hydroxyphenyl-4-methylbenzenesulfonate (3) were synthesized as the aromatic acid amplifiers with good thermal stability. They were autocatalytically generated p-toluenesulfonic acid in the presence of small amount of acid evolved from a photoacid generator. These aromatic sulfonates showed excellent thermal stability in PtBMA film and were proven to be the first aromatic acid amplifier to act as a photosensitivity enhancer. When these compounds were coupled with a chemically amplified photoresist system, photosensitivity was enhanced up to 3~6 folds.

키워드

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