Abstract
We have developed and estimated the measurement system of $CO_2$ and Nd:YAG laser power of wide range. The absorber is made of gold-plated copper cavity. The calibration heater is using a manganin(CuMn12Ni) coil, and output power is measured by using or resistance bridge with composed manganin and copper coil. Developed system can measure 5${\~}$1000W laser output power range. Calibration factors are 489.13J/mV at 100W and 497.04(J/mV) at 500W. correction factors are 0.99 at 100W and 1.006 at 500W.
넓은 출력 범위의 $CO_2$ 및 Nd:YAG 레이저광 출력측정 및 교정을 위해 정밀한 칼로리미터를 제작하고 성능의 정가에 관한 연구를 수행하였다. 칼로리미터의 수광부는 금 코팅된 구리재질의 공동을 사용하여 제작되었다. 교정용 히터는 망가닌으로 제작되고, 출력 측정은 망가닌과 구리의 저항 브릿지를 사용하여 측정하였다. 교정 인자는 100W에서 489.13 J/mV이고 500W에서 497.04J/mV이다 Nd:YAG Laser를 이용하여 보정 계수를 구한 결과 100W일 때는 0.99이고 500W일 때는 1.006으로 레이저 에너지와 전기적 교정의 차이는 $1\%$이하이다.