Abstract
In order to develope high concentration$\cdot$yield ozonizer, superposed discharge type ozonizer using overlap of silent discharge and internal electrode of mesh type has been designed and manufactured. It consists of three electrodes(central electrode, internal electrode and external electrode) and double gaps(gap between central electrode and internal electrode, gap between internal electrode and external electrode). Therefore, ozone is generated by overlapping silent discharges generated between the gaps respectively for which the AC high voltages applied to the internal electrode and the external electrode has a $180{[^\circ]}$ phase difference and for which the central electrode is a ground Ozone generation characteristics proportional to mesh of internal electrode by increasing of discharge electrode and controlling of discharge power density. As a result, the in maximum ozone concentration, generation, and yield can be obtained 17,720[ppm], 5.4[g/h], and 205[g/kwh] respectively.
본 논문에서는 고농도$\cdot$고수율 오존발생기를 개발할 목적으로 망사형 내부전극과 무성방전의 중첩을 이용한 중첩방전형 오존발생기를 설계$\cdot$제작하였다. 중첩방전형 오존발생기는 방전공간에 3개의 전극(중심전극, 내부전극 및 외부전극)과 2개의 gap(중심전극과 내부전극 사이의 gap과 내부전극과 외부전극 사이의 gap)으로 구성되어있다. 중첩방전형 오존발생기의 중심전극을 공통접지하고 내부전극과 외부전극에 $180{[^\circ]}$의 위상차를 가진 역극성의 교류 고전압을 각각 인가하면 각각의 방전 gap에서 발생하는 무성방전이 중첩되면서 오존이 발생된다. 이때, 내부전극의 조밀도가 증가할수록 방전전극의 면적이 확대되고 방전공간의 전력밀도가 억제되어 오존생성특성이 상승하였다. 그 결과 최대 17,720[ppm], 5.4[g/h] 및 250[g/kwh]의 오존을 얻을 수 있었다.