초록
본 논문에서는 진공방전관을 이용한 고농도 중첩방전형 오존발생기를 설계$\cdot$제작하였다. 3개의 전극(중심전극, 내부전극 및 외부전극)과 1개의 방전간극(내부전극과 외부전극 사이의 방전간극)으로 구성된 중첩방전형 오존발생기는 진공방전관내에 장착한 중심전극과 내부전극에 $180{[^\circ]}$의 위상차를 가진 2개의 교류고전압을 인가하고 외부전극을 공통접지함으로써 중심전극과 외부전극사이에서 발생되는 무성방전과 내부전극과 외부전극사이에서 발생되는 무성방전이 방전간극에서 중첩되는 구조이다. 이때 방전관의 진공도, 방전전력 및 산소원료가스 유량 변화에 따른 방전특성과 오존생성특성을 연구검토한 결과 최대 8840[ppm]의 고농도 오존을 얻을 수 있었다.
The superposed discharge type ozonizer of high ozone concentration using vacuum discharge tube has been designed and manufactured. It consists of three electrodes(central electrode, internal electrode, and external electrode) and one discharge gap(discharge gap between internal electrode and external electrode), is a superposed silent discharge type ozonizer for which the AC high voltages applied to the central electrode within discharge tube and the internal electrode has a $180{[^\circ]}$ phase difference and for which the external electrode is a ground. Ozone is generated by overlapping silent discharge between central electrode and external electrode, and silent discharge between internal electrode and external electrode. At the moment, discharge characteristics and ozone generation characteristics were investigated in accordance with vacuum of discharge tube, discharge power of ozonizer, and quantity of supplied oxygen gas. In consequence, high ozone concentration can be obtained 8840[ppm].