Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)
- Volume 11 Issue 2 Serial No. 31
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- Pages.59-66
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- 2004
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
A Development of Tapered Metallic Microneedle Array for Bio-medical Application
생체의학에 적용 가능한 테이퍼형태의 금속성 마이코로니들 어레이의 개발
- Che Woo Seong (Department of Mechatronics Engineering, Tongmyung University of Information Technology) ;
- Lee Jeong-Bong (The University of Texas at Dallas, Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science) ;
- Kim Kabseog (The University of Texas at Dallas, Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science) ;
- Kim Kyunghwan (Department of Electrical and Information Engineering, Kyungwon University) ;
- Jin Byung-Uk (Department of Mechatronics Engineering, Tongmyung University of Information Technology)
- 제우성 (동명정보대학교, 메카트로닉스 공학과) ;
- 이정봉 (택사스대학교, 에릭존슨 전자컴퓨터 공학부) ;
- 김갑석 (택사스대학교, 에릭존슨 전자컴퓨터 공학부) ;
- 김경환 (경원대학교, 전기정보공학과) ;
- 진병욱 (동명정보대학교, 메카트로닉스 공학과)
- Published : 2004.06.01
Abstract
This paper presents a novel fabrication process for a tapered hollow metallic microneedle array using backside exposure of SU-8, and analytic solutions of critical buckling of a tapered hollow microneedle. An SU-8 meta was formed on a Pyrex glass substrate and another SU-8 layer, which was spun on top of the SU-8 mesa, was exposed through the backside of the glass substrate. An array of SU-8 tapered pillar structures. with angles in the range of
본 연구에서는 유리기판을 통한 SU-8의 이중층을 후면 노광을 통하여 테이퍼지고 속이 빈 형태의 마이크로니들 배열구조물을 만드는 새로운 방법을 제안하였으며 테이퍼지고 속이 빈 형태의 원형축의 Buckling현상에 관한 해석해를 구하였다. Pyrex 7740을 유리기판으로 사용하고 이중층 구조의 SU-8 막을 후면 노광으로 금형 구조물을 제작하는 공정을 개발하였다.