마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)

  • 제11권2호
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  • Pages.17-22
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  • 2004
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  • 1226-9360(pISSN)
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  • 2287-7525(eISSN)
한국마이크로전자및패키징학회 (The Korean Microelectronics and Packaging Society)
권호 표지

저온동시소성 유전체 재료용 인산염계 유리-$BaO-Nd_{2}O_3-TiO_2$계 세라믹 복합체의 특성

Properties of Phosphate Glasses - $BaO-Nd_{2}O_3-TiO_2$ Ceramic Composites for Using Dielectric Materials Having Low Temperature Cofired Ceramic(LTCC)

  • 이회관 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 이용수 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 황성건 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 강원호 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 김형순 (순천대학교 재료/금속공학과)
  • Lee Hoi Kwan (Department of New Materials Science and Engineering, Dankook University) ;
  • Lee Yong Su (Department of New Materials Science and Engineering, Dankook University) ;
  • Hwang Sheng-Jian (Department of New Materials Science and Engineering, Dankook University) ;
  • Kang Won Ho (Department of New Materials Science and Engineering, Dankook University) ;
  • Kim Hyung Sun (Department of Materials Science & Metal Engineering Sunchon National University)
  • 발행 : 2004.06.01
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초록

본 연구에서는 마이크로파용 유전재료로서 널리 사용되고 있는 BNT($BaO-Nd_{2}O_3-TiO_2$)계 세라믹스를 기본조성으로 하고, 저융점의 phoshpate계 유리 프릿의 첨가를 통해 LTCC(Low Temperature Cofired Ceramic)에 적용 가능한 유전율을 가진 조성을 개발 하고자 $70P_{2}O_5-5B_{2}O_3-(25-x)BaO-xNa_{2}O$ 유리를 제조 및 특성을 평가하였다 또한, BNT계 세라믹스에 글래스 프릿을 $5 - 15\;wt\%$ 범위에서 첨가하고, 800 - $950^{\circ}C$의 온도범위에서 소결하여 제조된 유리-세라믹 복합체의 소결수축율은 글래스 프릿의 함량이 증가함에 따라 증가하였으며, 유전율은 10-40의 범위를 보였다.

In this study, BNT($BaO-Nd_{2}O_3-TiO_2$) and $70P_{2}O_5-5B_{2}O_3-(25-x)BaO-xNa_{2}O$ glass-ceramic composites were fabricated and investigated in order to apply for low temperature cofired ceramic. The prepared BNT based glass-ceramic composites were sintered at $800{\sim}950^{\circ}C$ with the glass fit contents ranging from 10 to $15\;wt\%$. The properties such as sintering and dielectric property were investigated in the ceramic compositions according to the phosphate glass frit. The dielectric constant was varied between 10 to 40 and shrinkage rate was increased according to increasing glass frit.

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