Abstract
The high acceleration voltage system used in scanning electron microscope were designed and manufactured to test its stability. The Cockcroft-Walton circuits are used both in the cathode voltage up to -30 kV and in the Wehnelt cylinder of -2 kV. The operating voltage of 6 V was applied to the heating of the filament. The wave forms which are formed in the second leg of the high voltage transformer were observed in the oscilloscope with 2 V of DC input. When the high voltages were in the range between 5 kV and 12 kV, the highest value of the stabilities of the generated voltages was obtained as 0.002%.
주사전자현미경(SEM)에서 전자를 발생시키는 전자총 부분의 고압발생 장치를 설계 제작하고 그 안정성을 시험하였다. 고전압을 발생시키는 switching 주파수는 고압트랜스의 1차 측 임피던스와 인덕턴스에 matching 되는 주파수에서 최적의 전압 안정도가 유지되었다. 1차 측의 고압트랜스의 turn 수가 적으면 인덕턴스가 낮으므로 최적적인 matched switching 주파수가 높은 쪽으로 올라간다. 최대 출력 전압은 -30 kV 이상 출력되었으나 안정도는 출력전압이 -5 kV에서 10 kV 범위에서 가장 좋게 나타났다. 23.8 kHz에서 출력파형의 흔들림 없었고 DC 고전압 출력 또한 최고의 안정도을 보였다. 이때 도출된 전압 안정도는 ${\pm}0.002%$였다.