초록
고주파 고전압 펄스전원을 제작하고 발생되는 펄스고전압의 시비율과 주파수가 비열플라즈마 발생에 미치는 영향을 실험적으로 조사하였다. 실험에 사용된 비열플라즈마 발생장치는 그물형의 방전전극을 사용한 새로운 형태로써 연면방전과 유전체 장벽방전을 동시에 이용할 수 있는 구조로 제작하였다. 비열플라즈마의 발생에 영향을 주는 주요인자는 방전에 의해 발생된 전자로써 이들의 움직임을 효과적으로 제어하기 위한 주요변수로써 시비율과 주파수를 선택하였으며 이 두 가지 변수는 전원의 효율에 관계된 전력소비량과도 직접적인 연관이 있다. 비열플라즈마 발생특성은 전류-전압특성과 방전에 의해 발생된 오존발생량을 측정함으로써 간접적으로 조사되었다. 실험결과 제작된 고주파 고전압 펄스발생장치에 의해 가장 효과적인 비열플라즈마를 발생시키는 시비율과 주파수조건을 확인할 수 있었다.
The effects on non-thermal plasma generation by duty Ratio and frequency of pulse voltage were investigated experimentally. For these, a new type of non-thermal plasma generator with mesh electrode was manufactured and it was possible to generate the surface and silent discharge simultaneously by new type of non-thermal plasma generator. Duty ratio and frequency were selected as main parameters to control the movement of electron which is mainly related to the non-thermal plasma generation. The characteristics of non-thermal plasma generation were investigated indirectly by measuring the I-V curve and quantity of ozone generation. The most effective condition of duty ratio and frequency to generate the non-thermal plasma was identified by experiments with manufactured non-thermal plasma generator.