Journal of the KSME (기계저널)

Volume 44 Issue 12
/
Pages.45-50
/
2004
/
1226-7287(pISSN)

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)

권호 표지

전자선 가공(리소그라피)장비의 개발 현황

조양구 (한국표준과학연구원, 물질량표준연구부)

Published : 2004.12.01

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Abstract

이 글에서는 현재 반도체산업 및 전자부품산업 등에서 폭 넓게 사용하고 있는 전자선 가공장비의 역사 및 국내외 개발 현황에 관하여 소개하고자 한다.

Keywords