플라즈마 이온주입장치(PSII)용 펄스 모듈레이터

  • 발행 : 2004.02.01

초록

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참고문헌

  1. 플라즈마 물리증착및 화학증착 포항산업과학연구원(RIST) 전중환
  2. Solid State Modulators For PIII Applications Marcel P.J.;Diverified Techmologies, Inc