전기학회논문지P (The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers P)
- 제52권1호
- /
- Pages.14-19
- /
- 2003
- /
- 1229-800X(pISSN)
- /
- 2586-7792(eISSN)
강유전체 PZT박막의 신뢰도에 미치는 헤테로구조 전극의 영향에 대한 연구
Effects of Heterostructure Electrodes on the Reliability of Ferroelectric PZT Thin Film
- 투고 : 2002.11.07
- 심사 : 2003.02.21
- 발행 : 2003.03.01
초록
The effect of the Pt electrode and the