Journal of Industrial Technology (산업기술연구)
- Volume 23 Issue A
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- Pages.175-179
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- 2003
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- 1229-9588(pISSN)
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- 1598-1371(eISSN)
Experimental Analysis on Particle Growth in TEOS/O2 Plasma Reactor
TEOS/O2용 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장에 대한 실험적 분석
Abstract
A study on the particle growth in
Keywords