참고문헌
- S. J. Pearton, J. W. Lee, E. S. Lambers, J. R. Mileham, C. R. Abernathy, W. S. Hobson, F. Ren and R. J. Shul, J.Vac, Sci. Technol., B14, 118 (1996)
- J. W. Lee, J. Hong, E. S. Lambers, C. R. Abemathy, S. J. Pearton, W. S. Hobson and F. Ren, J. Electrochem. Soc., 143, 2010 (1996) https://doi.org/10.1149/1.1836940
- R. J. Shul, G. B. McClellan, R. D. Rriggs, D. J. Rieger, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, J. W. Lee, C. Constantine and C.Barratt, J. Vac. Sci. Technol., A15, 633 (1997) https://doi.org/10.1116/1.580696
- J. W. Lee, J. Hong, E. S. Lambers, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, W. S. Hobson and F. Ren, J. Electronic Materials, 26, 429 (1997) https://doi.org/10.1007/s11664-997-0114-8
- J. W. Lee, E. S. Lambers, C. R. Abernathy, S. J. Peartion, R. J. Shul, F. Ren, W. S. Hobson and C. Constantine, Solid State Electronics, 42, (1998)
- T. Maeda, J. W. Lee, R. J. Shul, J. Han, J. Hong, E. S. Lambers, S. J. Pearton, C. R. Abernathy and W.S.Hobson, Applied Surface Science, 143, 174 (1999) https://doi.org/10.1016/S0169-4332(98)00594-7
- J. W. Lee, J. F. Donohue, K. D. Mackenzie, R. Westerman, D. Johnson and S. J. Pearton, Solid-State Electronics, 43, 1769 (1999) https://doi.org/10.1016/S0038-1101(99)00129-X
- B. H. O, J. S. Jeong, S. G. Park,, Surface and Coating Technology,, 120-121 (1999)
- H. J. Lee, J. H. Kim, K. W. Whang, J. H. Joo and J. Vac, Sci. Technol. A14 (3), (1996)
- Y. J. Sung, H. S. Kim, Y. H. Lee, J. W. Lee, S. H. Chae, Y. J. Park and G. Y. Yeom, Mater. Sci. Eng., B82, 50 (2001) https://doi.org/10.1016/S0921-5107(00)00716-9
- M. A. Lieberman and A. J. Litchenberg, Principles of Plasma Discharges and materials Processing, John Willy & Sons Inc. (1994)
- F. Ren, R. F. Kopf, J. M. Kuo, J. R. Lothian, J. W. Lee, S. J. Pearton, R. J. Shul, C. Constantine and D.Johnson, Solid State Electronics, 42, 749 (1998) https://doi.org/10.1016/S0038-1101(97)00292-X
- J. W. Lee, K. D. Mackenzie, D. Johnson, R. J. Shul, S. J. Pearton, C. R. Abernathy and F. Ren, Solid State Electronics, 42, 1027 (1998) https://doi.org/10.1016/S0038-1101(98)80025-7
- F. Ren, J. W. Lee, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, C. Constantine, C. Barratt and R. J. Shul, J. Vac. Sci. Technol., B15, 983 (1997) https://doi.org/10.1116/1.589518
- K. N. Lee, J. W. Lee, J. Hong, C. R. Abernathy, S. J. Pearton and W. S. Hobson, J. of Electronic Materials, 26, 1279 (1997) https://doi.org/10.1007/s11664-997-0070-3
- J. W. Lee, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, F. Ren, C. Constantine and C. Barratt, Solid State Electronics, 42, 733 (1998) https://doi.org/10.1016/S0038-1101(97)00247-5