Optical technique of precision measurement using Electronic Speckle Pattern Interferometry

ESPI를 이용한 광학식 정밀 계측 기술

  • Published : 2003.10.01

Abstract

In this research, we accomplished the interpreting about the vibration of the object, which is the out of plane displacement in the Electronic Speckle Pattern Interferometry(ESPI), one of the optical measuring technique. The vibrating object has a inherent nodal line, therefore we can get the information about the vibration of the object by interpreting it. we used a speaker and a cantilever plate for a measurement object, and interpreted it qualitatively by using the Time-Average ESPI. In this experimental result, the speaker has the lower mode of fringe at 550Hz, 570mV, and the higher mode of fringe at 950Hz, 570mV This ESPI is a non-destructive test, and because of using the laser at measuring, it has a high resolution. The ESPI can test vibration mode regardless of the test object size, because the area which illuminated laser is the test area.

본 연구에서는 광학식 계측 기술인 ESPI에서 면외변위인 물체의 진동에 대한 분석을 수행하였다. 진동하는 물체는 고유한 노달 라인을 가지게 된다. 따라서 이를 분석함으로써 진동하는 물체에 대한 정보를 얻을 수 있다. 측정 물체로 스피커와 외팔보 평판을 사용하였으며, 이를 시간 평균 ESPI로 정성적으로 분석하였다. 본 연구의 실험 결과로 스피커에서는 진동 주파수 550Hz와 진폭 570mV에서 저차 모드 간섭무늬가 나타났으며, 진동 주파수 950Hz와 진폭 570mV에서 고차 모드 간섭무늬가 나타났다. 이러한 ESPI는 측정에 레이저를 이용하기 때문에 비파괴, 비접촉 검사이며, 높은 분해능을 가진다. 또한 레이저가 조사되는 영역이 측정 영역이 되므로 측정 물체의 크기에 제한되지 않는다.

Keywords

References

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