The Optical Journal (광학세계)

Korea Optical Industry Association (한국광학기기산업협회)
권호 표지

반도체 노광공정에 이용되는 엑시머 레이저의 기술 현황 및 시장 동향

  • Published : 2002.05.01
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Abstract

2002년 초에 Dataquest에 의해 발표된 시장전망에 의하면, 2003년 이후 3$~$4년간 엑시머 레이저를 이용한 DUV 노광장비 시장은 큰 폭으로 확대될 것으로 전망하고 있으며, DRAM 수요의 증가와 12인치(300mm) 공정의 가속화가 그 예상을 뒷받침 하고 있다. 특히, KrF엑시머 레이저 공정 이후에 도입될 ArF엑시머 레이저 시장의 확대가 주목된다.

Keywords