초록
$ZrO_2$ 첨가량 변화에 따른 전기적 특성과 고주파 대용량 세라믹 캐패시터 제조공정 조건을 규명하기 위하여 고주파 대용량 세라믹 캐패시터의 제조 및 전기적 특성에 관하여 연구하였다. 단위 캐패시터는 테이프 캐스팅법으로 제조되었으며, 유전체 및 바인더의 최적조성은 57.5∼60.0: 42.5∼40.0 wt%이다. 슬러리의 점도는 4000∼5000 cps이며, 이 슬러리를 사용하여 제조한 그린 테이프는 뛰어난 캐스팅 상태를 유지하고 있다. 80$^{\circ}C$에서 200 kg/$cm^2$의 성형압으로 성형함으로서 최적의 적층 상태를 얻을 수 있었다. 단위 캐패시터의 전기적 특성, 특히 절연파괴 특성을 증진시키기 위하여 $ZrO_2$를 첨가하였다. $ZrO_2$ 첨가량이 1 wt%에서부터 5 wt%까지 첨가한 경우에는 단위 캐패시터의 유전상수 및 유전손실에 큰 영향을 미치지 못하였다. 또한 유전상수도 10 kHz에서 500 kHz 사이의 주파수 범위에서 큰 변호가 없었다. 내전압은 3 wt%를 첨가한 경우 $CaZrO_3$에 형성 및 입자크기 감소로 인하여 증진됨을 확인할 수 있었다.
Fabrication and electrical characterization of R. F. High-power unit capacitors were investigated to study on condition of fabrication processing for R. F. High-power unit capacitor and electrical characteristics according to addition of $ZrO_2$. The unit capacitors were fabricated using tape casting. The optimum mixture ratio of dielectrics and mixing binder for the slurry fabrication was 57.5∼60.0: 42.5∼40.0 wt%. The slurry viscosity was 4000∼5000 cps and casting state of green tape fabricated using these slurry was excellent. Optimum stacking was made by 200 kg/$cm^2$ pressure with 80$^{\circ}C$ heating. $ZrO_2$ was added to improve the electrical characteristics of unit capacitor, especially breakdown characteristics. The dielectric constant and loss factor of the unit condenser having different $ZrO_2$ amounts was not changed in the addition range of 1 to 5 wt%. Also, dielectric constant was not changed in the frequency range of 10 to 500 kHz. It was found that characteristics of resistance voltage was improved through the formation of $CaZrO_3$ and the reduction of particle size as about 3wt% $ZrO_2$ was added.