Experimental Verification on Corrective Machining Algorithm of Hydrostatic Table

유정압테이블 수정가공 알고리즘의 실험적 검증

  • 박천홍 (한국기계연구원 자동화연구부 공작기계그룹) ;
  • 이찬흥 (한국기계연구원 자동화연구부 공작기계그룹) ;
  • 이후상 (한국기계연구원 자동화연구부 공작기계그룹)
  • Published : 2002.06.01

Abstract

Effectiveness of corrective machining algorithm is verified experimentally in this paper by performing corrective machina work practically to single side and double sides hydrostatic tables. Lapping is applied as machining method. Machining information is calculated from measured motion errors by applying the algorithm, without information on rail profile. It is possible to acquire 0.13$\mu$m of linear motion error, 1.40arcsec of angular motion error in the case of single side table, and 0.07$\mu$m of linear motion error, 1.42arcsec of angular motion error in the case of double sides table. The experiment is performed by an unskilled person after he experienced a little of preliminary machining training. Experimental results show that corrective machining algorithm is very effective, and anyone can improve the accuracy of hydrostatic table by using the algorithm.

Keywords

References

  1. 박천홍, 오윤진, 이찬홍, 홍준희, '전달함수를 이용한 유정압테이블 운동정밀도 해석법의 제안 및 이론적 검증,' 한국정밀공학회지, 제 19권, 제 5 호, 2002
  2. 오윤진, 박천홍, 이찬홍, 홍준희, '전달함수를 이용한 유정압테이블 운동정밀도 해석법의 실험적 검증,' 한국정밀공학회지, 제 19 권, 제 5 호. 2002
  3. 박천홍, 이찬홍, 이후상, '유정압테이블 운동정밀도 향상을 위한 수정가공 알고리즘,' 한국정밀공학회지, 제 19 권, 제 6 호, pp. 62-69, 2002
  4. 박천홍, 정재훈, 이후상, 김수태, '서브미크론 가공진직도측정장치개발,' 한국정밀공학회지, 제 17 권, 제 5 호, pp. 124-130, 2000