마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제9권1호
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- Pages.49-52
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- 2002
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
소다붕규산염유리 도포형 정전척의 제조
Fabrication of Soda Borosilicate Class-Coated Electrostatic Chucks
초록
본 연구를 통하여 저온 반도체 공정용 정전퍽(ESC)을 테이프캐스팅 공정에 의하여 스테인레스스틸에 소다붕규산염유리가 도포된 형태로 제작할 수 있음을 입증하였다. 스테인레스스틸 기판위의 유리 도포층은 125
This study demonstrated the feasibility of tape casting method to fabricate soda borosilicate glass-coated stainless steel electrostatic chucks(ESC) for low temperature semiconductor processes. Glass coating on the stainless steel substrate was 125
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